昆山国显光电有限公司闫立获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山国显光电有限公司申请的专利一种磁分析器以及离子注入机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115410884B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210924128.1,技术领域涉及:H01J37/05;该发明授权一种磁分析器以及离子注入机是由闫立;姜禹霏;吉小龙设计研发完成,并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁分析器以及离子注入机在说明书摘要公布了:本申请公开了一种磁分析器以及离子注入机,磁分析器包括离子束通道,离子束通道包括飞行区以及合围形成飞行区的第一内壁与顶壁,离子束通道包括第一隔板,第一隔板设置于第一内壁和飞行区之间;其中,第一隔板设置有多个第一通孔,第一隔板和第一内壁之间形成容纳空间。本申请不仅能够大幅降低污染颗粒被携带出磁分析器的几率,继而有效避免离子注入工艺失效,还能极大延长人工维护周期或备件更换周期,从而有效降低维护成本。
本发明授权一种磁分析器以及离子注入机在权利要求书中公布了:1.一种磁分析器,包括离子束通道,所述离子束通道包括飞行区以及合围形成所述飞行区的第一内壁与顶壁,其特征在于,所述离子束通道包括第一隔板, 所述第一隔板设置于所述第一内壁和所述飞行区之间;所述第一内壁包括底壁,所述第一隔板设置在所述底壁与所述飞行区之间; 其中,所述第一隔板设置有多个第一通孔,所述第一隔板和所述第一内壁之间形成容纳空间;所述容纳空间位于所述第一隔板与所述底壁之间; 所述离子束通道还包括第二隔板;所述第二隔板设置在所述第一隔板与所述第一内壁之间,所述第二隔板设置有多个第二通孔;其中,至少部分所述第一通孔和所述第二通孔交错设置; 所述第一隔板包括多个设置于相邻两个所述第一通孔之间的第一凸起,所述第二隔板包括多个设置于相邻两个所述第二通孔之间的第二凸起,所述第一凸起与所述第二凸起的凸起方向均朝向所述飞行区。
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