株式会社斯库林集团中村一树获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置及衬底洗净方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472527B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210659023.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法是由中村一树;石井淳一;筱原智之;髙桥拓马设计研发完成，并于2022-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底洗净装置及衬底洗净方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。本发明通过衬底保持部将衬底以水平姿势保持。在处理位置，通过下表面刷子将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净。在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净。下表面刷子通过下表面刷子升降驱动部在处理位置与待机位置之间升降。
本发明授权衬底洗净装置及衬底洗净方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，具备： 衬底保持部，将衬底以水平姿势保持； 下表面刷子，在处理位置，将由所述衬底保持部保持的所述衬底的下表面洗净； 刷子洗净部，在与由所述衬底保持部保持的所述衬底于上下方向重叠且位于所述处理位置的下方的待机位置，将所述下表面刷子洗净； 升降支撑部，供所述下表面刷子及所述刷子洗净部安装；及 下表面刷子升降驱动部，通过使所述升降支撑部升降，使所述下表面刷子于所述处理位置与所述待机位置之间升降；且 所述刷子洗净部通过所述升降支撑部的升降而与所述下表面刷子一起升降，而且至少在所述下表面刷子离开所述衬底的期间通过向所述下表面刷子喷出洗净液来洗净所述下表面刷子。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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