隆基绿能科技股份有限公司陈永康获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种磁控拉晶装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115478318B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211010551.7,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种磁控拉晶装置是由陈永康;李侨;杜婷婷;朱永刚;张朝光;任伟康;刘阳;牛彩鹤设计研发完成,并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控拉晶装置在说明书摘要公布了:本申请实施例,提供了一种磁控拉晶装置,包括单晶炉、坩埚以及磁控组件;坩埚设置于单晶炉内,用于盛放硅液,所述磁控组件设置于所述硅液上方。磁控组件包括环形磁体,环形磁体内设置有用于单晶硅棒穿设的拉晶通道,环形磁体靠近硅液设置,用于在硅液内形成勾型磁场。所述勾型磁场在所述硅液的液面的磁场强度大于或者等于0.1毫特。硅液内部的勾型磁场可以有效抑制硅液的纵向热对流、横向热对流以及其他方向的热对流,抑制了硅液在多个方向的热对流。这样,就可以减少硅液对坩埚壁的冲刷,降低硅液中的杂质含量,提高了拉晶质量。而且,磁控拉晶装置的结构简单,在现有的拉晶装置的基础上仅需进行少量的改进即可实施,适用范围广泛且成本较低。
本发明授权一种磁控拉晶装置在权利要求书中公布了:1.一种磁控拉晶装置,其特征在于,所述磁控拉晶装置包括单晶炉、坩埚以及磁控组件; 所述坩埚设置于所述单晶炉内,用于盛放硅液,所述磁控组件设置于所述硅液上方; 所述单晶炉内设有换热器,所述换热器设置于所述坩埚上方,所述磁控组件连接于所述换热器; 所述磁控组件包括环形磁体,所述环形磁体内设置有用于单晶硅棒穿设的拉晶通道,所述环形磁体靠近所述硅液设置,用于在所述硅液内形成勾型磁场; 所述勾型磁场在所述硅液的液面的磁场强度大于或者等于0.1毫特; 所述磁控组件还包括冷却层和隔热层,所述冷却层包覆于所述环形磁体,所述隔热层包覆于所述冷却层,所述冷却层内通有冷却介质。
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