南京理工大学李建欣获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115701523B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110888745.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置及方法是由李建欣;宗毅;于彩芸;段明亮设计研发完成,并于2021-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置及方法,该装置包括:激光干涉仪、可变相位补偿器和用于待测镜运动控制的多轴运动台。可变相位补偿器由双自由曲面镜和双楔板组成,用于实现每个子孔径的大动态范围的相位补偿。系统采用基于权重的随机梯度下降算法自动调整子孔径的补偿相位,并利用微平移错位测量方法进行补偿相位的在位测量。系统可实现全孔径覆盖拼接测量、子孔径覆盖测量拼接以及综合测量三种测量模式。本发明能实现柔性的、复杂光学自由曲面例如鸥翼型曲面的高精度测量。
本发明授权光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种光学自由曲面的子孔径拼接干涉测量装置,其特征在于,所述装置包括沿光轴依次设置的激光干涉仪A、可变相位补偿器B和待测镜D,其中待测镜D置于多轴运动台C上; 所述激光干涉仪A,用于产生光学自由曲面干涉测量的测试光; 所述可变相位补偿器B,用于补偿每个子孔径的波前相位,使每个子孔径获得稀疏的干涉条纹; 所述多轴运动台C,用于控制待测镜D的多轴运动; 所述可变相位补偿器B包括沿光轴设置的双自由曲面镜B1、B2和双楔板B3、B4;其中,所述双自由曲面镜B1、B2靠近激光干涉仪A,包括沿光轴依次设置的第一自由曲面镜B1和第二自由曲面镜B2;所述双楔板B3、B4包括沿光轴依次设置的第一楔板B3和第二楔板B4; 所述双自由曲面镜B1、B2为平面-自由曲面结构,自由曲面面形方程为: z=Axy2+x3+Dx+E 式中,z为光轴方向的坐标,且向右为正向;x为垂直于z轴且平行于纸面的坐标,且向上为正向;y为垂直于光轴且垂直于纸面的坐标,且垂直于纸面向外为正向;A、D、E均为自由曲面系数; 所述双自由曲面镜B1、B2垂直于光轴放置且两个自由曲面相对设置,初始状态为共轴心;若第一自由曲面镜B1由初始状态向x正向平移,第二自由曲面镜B2由初始状态向x负向平移,则实现正球差的相位补偿;相反,则实现负球差的相位补偿;球差补偿的大小与双自由曲面镜B1、B2的相对平移量相关,具体为f=14Adnl-1,其中f为球差补偿的大小,d为相对平移量,nl为材料折射率;当第一自由曲面镜B1由x正向平移至负向,同时第二自由曲面镜B2由x负向平移至正向时,补偿相位实现由正球差向负球差过渡; 所述双楔板B3、B4垂直于光轴放置,且可各自绕光轴独立旋转实现像散的补偿,并能在x和y方向整体倾斜,实现慧差的补偿; 所述多轴运动台C实现待测镜D在x、y和z方向的平移以及x和z方向的旋转。
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