凯斯科技股份有限公司李童华获国家专利权
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龙图腾网获悉凯斯科技股份有限公司申请的专利具有垂直排列结构的基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115735273B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180045035.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权具有垂直排列结构的基板处理系统是由李童华;金炯剟;郑有善设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有垂直排列结构的基板处理系统在说明书摘要公布了：根据一个实施例的基板处理系统，包括：清洗装置，其对基板进行清洗工艺，并且位于第一位置；干燥装置，其对基板进行干燥工艺，并且位于第二位置；以及移送部，其将基板从清洗装置移送至干燥装置，第一位置及第二位置可以以垂直的形式排列。
本发明授权具有垂直排列结构的基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其特征在于，包括： 清洗装置，其对基板进行清洗工艺，并且位于第一位置； 干燥装置，其对基板进行干燥工艺，并且位于第二位置；以及 移送部，其将基板从清洗装置移送至干燥装置， 第一位置及第二位置以垂直的形式排列； 重量测量部，其在清洗工艺结束后，在第一位置对基板的重量进行一次测量，在基板移送至第二位置后，在第二位置对基板的重量进行二次测量； 第一重量测量装置，其位于第一位置； 以及第二重量测量装置，其位于第二位置； 重量测量部还包括铰链驱动部，其使得第一重量测量装置从水平方向向垂直方向进行铰链驱动； 其中，重量测量部和移送部分开设置，并且设置在第一位置和第二位置之间的路径上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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