铠侠股份有限公司吉川绫司获国家专利权
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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利检查装置及检查方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115808433B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111457886.9,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权检查装置及检查方法是由吉川绫司设计研发完成,并于2021-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置及检查方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种检查装置及检查方法。根据一个实施方式,提供一种具有控制部、照射部、及生成部的检查装置。控制部根据检查对象物中的多个检查区域的图案信息,分别求出多个第1波束的照射量。检查对象物包含多个检查区域。多个第1波束对应于多个检查区域。照射部将多个第1波束分别以求出的照射量预备性地照射至多个检查区域。照射部在进行了预备性的照射的状态下将多个第2波束照射至多个检查区域。生成部生成被多个第2波束照射的多个检查区域的图像。
本发明授权检查装置及检查方法在权利要求书中公布了:1.一种检查装置,所述检查装置能够以1次的照射,将多个第1波束照射至多个检查区域,且具备:控制部,根据包含所述多个检查区域的检查对象物中的所述多个检查区域的图案信息,分别求出与所述多个检查区域对应的所述多个第1波束的照射量;照射部,将所述多个第1波束分别以求出的照射量预备性地照射至所述多个检查区域,在进行了所述预备性的照射的状态下将多个第2波束照射至所述多个检查区域;及生成部,生成被所述多个第2波束照射的所述多个检查区域的图像。
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