株式会社斯库林集团古川正晃获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910842B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210914572.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置是由古川正晃;后藤茂宏设计研发完成，并于2022-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置。涂布装置包含载台装置及喷嘴装置。在载台装置中，将衬底保持在板部件上。喷嘴装置具有狭缝状的喷出口，设置在载台装置的上方。以对衬底的整个上表面供给涂布液的方式，一边从喷嘴装置的喷出口喷出涂布液一边使喷嘴装置在载台装置的上方移动。在载台装置或喷嘴装置中，基于涂布液涂布到衬底上的位置，对涂布液进行温度调整。
本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 第1衬底保持部，具有供载置衬底的第1板部件，将载置在所述第1板部件的衬底以预先规定的固定姿势保持，所述衬底具有至少一部分为圆形状的外周部； 液体供给部，设置在比所述第1衬底保持部更靠上方的位置，具有狭缝状的喷出口，从所述喷出口向衬底的上表面喷出涂布液； 相对移动部，以利用从所述液体供给部喷出的所述涂布液在所述第1衬底保持部所保持的衬底的整个上表面形成所述涂布液的膜的方式，使所述第1板部件与所述液体供给部相对地移动；以及 温度调整部，对所述液体供给部中被引导至喷出口的涂布液及涂布到衬底上的所述涂布液中的至少一涂布液进行温度调整； 所述温度调整部在对所述液体供给部中被引导至所述喷出口的所述涂布液进行温度调整的情况下，使供给到衬底周缘部的至少一部分的所述涂布液的温度与供给到衬底中央部的所述涂布液的温度不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励