南京理工大学袁忠帅获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116021156B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310163804.2,技术领域涉及:B23K26/352;该发明授权一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法是由袁忠帅;李晓鹏;陆广华;王克鸿;王大森;彭勇设计研发完成,并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法在说明书摘要公布了:本发明属于光学元件抛光领域,具体涉及一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法。包括如下步骤:步骤1:在熔石英试样表面镀一层厚度为100~300μm金属镍膜;步骤2:采用高能量密度激光辐照金属镍膜,调整激光参数使金属镍烧蚀蒸发,通过金属镍烧蚀蒸发对熔石英表面产生的向下的力实现了对熔石英表面的抛光。本发明利用镍膜烧蚀气化时产生的反作用力对熔石英表面进行抛光,达到高效、高精度、无缺陷抛光的目的。
本发明授权一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种基于金属气化反作用力的熔石英抛光方法,其特征在于,用于平面、球面、柱面、非旋转面或非球面的晶体光学元件的抛光,包括如下步骤: 步骤1:在熔石英试样表面镀一层厚度为100~300μm金属镍膜;具体包括如下步骤:将熔石英表面粗化;将粗化后的熔石英试样表面喷雾活化液进行活化;在活化后的熔石英试样表面化学镀镍,活化液中含有浓度为130-160gL的NiSO4和浓度为200-250gL的NaH2PO2; 步骤2:采用高能量密度激光辐照金属镍膜,调整激光参数使金属镍烧蚀蒸发,通过金属镍烧蚀蒸发对熔石英表面产生的向下的力实现了对熔石英表面的抛光; 步骤2中激光辐照金属镍膜使得试样表面温度为1600℃-2700℃;步骤2中激光辐照的具体参数为:激光功率为20-50W,频率为10-20kHz,激光光斑直径为0.5-1mm,离焦量为5-10mm,扫描速度为100-150mms,激光辐照抛光的路径为双向单通道。
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