买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利侧开电阻式碳化硅单晶生长炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288720B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173956.0，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权侧开电阻式碳化硅单晶生长炉是由王殿;郭帝江;靳丽岩;武欣彤;师开鹏;王宏杰设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本侧开电阻式碳化硅单晶生长炉在说明书摘要公布了：本发明属于单晶生长设备技术领域，具体涉及侧开电阻式碳化硅单晶生长炉，包括框架，框架上安装有生长炉体，生长炉体包括的外侧壁上焊接有铰接耳，铰接耳通过铰接轴连接有炉体门；生长炉体的内部具有分体式热场结构，分体式热场结构包括热场主体和楔形的热场保温部件。通过将生长炉体的结构进行设计，将上下出料的方式更改为侧出料方式，针对石墨坩埚取放的不便进行全新设计，采用侧开式的取放料操作可以保证石墨坩埚对于加热区的相对位置。采用侧开式炉门开闭机构，有效地解决了石英感应及传统电阻式生长炉的难以清洗的特点；便于炉体的日常维护，有效地减小了由于生长环境污染引起的生长质量问题。

本发明授权侧开电阻式碳化硅单晶生长炉在权利要求书中公布了：1.侧开电阻式碳化硅单晶生长炉，其特征在于，包括框架，所述框架上安装有生长炉体，所述生长炉体包括的外侧壁上焊接有铰接耳，所述铰接耳通过铰接轴连接有炉体门； 所述生长炉体的内部具有分体式热场结构，所述分体式热场结构包括热场主体和楔形的热场保温部件，所述热场主体安装于所述生长炉体的中部，所述热场主体的两侧分别开设有楔形槽，所述热场主体上放置有石墨坩埚，所述热场保温部件固定于所述炉体门的内侧上，所述热场保温部件的两侧分别具有与所述楔形槽配合的楔形凸起； 所述石墨坩埚的下方安装有石墨加热器，所述石墨加热器连接电阻加热电源、石墨加热器和控制器，所述控制器连接有高温红外探测器，所述高温红外探测器用于检测石墨坩埚的温度，并将温度信号传输至所述控制器，所述控制器通过所述电阻加热电源控制所述石墨加热器的输入功率； 在低温段1000度以下，采用开环恒功率方式，控制器通过通讯的方式向电阻加热电源参数写入功率数值，实现系统的加热控制；在高温段1000度～2500度，高温红外探测器作为温度传感器参与系统的反馈闭环控制，高温红外探测器、电阻加热电源、石墨加热器和石墨坩埚组成恒流闭环控制系统，结合功率模糊控制技术实现高温段的热场温度控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)，其通讯地址为：030024 山西省太原市万柏林区和平南路115号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。