中国科学院西安光学精密机械研究所王国玺获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种可实现微区光谱测量的系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116297237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310107568.2,技术领域涉及:G01N21/25;该发明授权一种可实现微区光谱测量的系统及方法是由王国玺;赵家祺;赵卫;张文富设计研发完成,并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可实现微区光谱测量的系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可实现微区光谱测量的系统及方法,包括反射式显微成像光路、透射式光谱测试光路和样品夹持机构;通过采用准单色光扫描方式进行光谱标定,有效的避免了因显微物镜的色散引起的测量误差;光学爬高架将光源出射的水平光束调整至适合高度以匹配后续显微成像光路和光谱测试光路;反射式显微成像光路中采用反射式耦合结构有利于缩小系统空间尺寸;经第二显微物镜收集的透射光仅通过传输光纤到达光栅光谱仪,有利于减少杂散光的干扰;样品夹持机构实现了对样品的俯仰、偏转以及XYZ方向位移调节,解决了现有技术中测量系统难以针对某些角度敏感型的材料结构进行检测且兼容性低的技术问题。
本发明授权一种可实现微区光谱测量的系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种可实现微区光谱测量的系统,其特征在于,包括反射式显微成像光路、透射式光谱测试光路和样品夹持机构;所述反射式显微成像光路包括依次设置的光源模块、透镜模块和图像处理模块;所述透射式光谱测试光路包括依次设置的光收集模块、耦合模块和光谱分析模块; 所述光源模块包括光纤卤素光源1,所述的光纤卤素光源1上耦合连接有单色仪2,所述的单色仪2后依次设置有第一准直透镜3和光学爬高架4;所述光学爬高架4上设置有可移动的第一反射镜5和第二反射镜6; 所述的透镜模块包括在第二反射镜6的反射光路上依次布设的同轴光阑7和分束棱镜8,所述的分束棱镜8的下方设置有第一同轴位移结构14,所述的第一同轴位移结构14上固定设置有第一显微物镜9,所述的分束棱镜8的上方依次设置有第二同轴位移结构15和第三同轴位移结构16,所述的第二同轴位移结构15上固定设置有第二准直透镜10,所述的第三同轴位移结构16上固定设置有第三准直透镜11;所述的第一显微物镜9、分束棱镜8、第二准直透镜10和第三准直透镜11在竖直方向上同光轴; 所述的图像处理模块包括相连接的图像传感器12和计算机13,所述的图像传感器12与所述的第三准直透镜11在竖直方向上同光轴; 所述的光收集模块包括与第一显微物镜9共焦的第二显微物镜17和用于固定第二显微物镜17的第四同轴位移结构18; 所述的耦合模块包括凹面反射镜19、同轴光纤固定架20以及固定在同轴光纤固定架20上的光纤转接件21;所述的凹面反射镜19的中心与所述的第二显微物镜17和光纤转接件21分别在竖直方向和水平方向上同光轴; 所述的光谱分析模块包括一端与所述的光纤转接件21相连的传输光纤22,以及与所述的传输光纤22的另一端连接的光栅光谱仪23; 所述的样品夹持机构包括六轴位移台24和固定在六轴位移台24上的样品夹25。
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