聚束科技(北京)有限公司张琛获国家专利权
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龙图腾网获悉聚束科技(北京)有限公司申请的专利一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310318162.9，技术领域涉及：H01J37/21；该发明授权一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质是由张琛;谭宇琦;张韩;李杨;费雅茜设计研发完成，并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。
本发明授权一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种聚焦控制方法，其特征在于，所述方法应用于扫描电子显微镜，所述方法包括： 基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域； 为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式； 基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像，包括：对于所述感兴趣区域从预设的第一行开始逐行进行拍摄，确定待拍摄的区域，调用所述待拍摄的区域对应的聚焦方式和调节象散的方式进行拍摄； 所述待测样品表面的特征信息包括以下一种或多种： 高度； 相邻区域之间的高度差； 表面的粗糙程度； 所包含的样品特征的数量； 可承受的电子束辐照的程度； 所述聚焦方式包括以下任一种： 桩点插值法手动聚焦IFocus； 自动聚焦AF； 所述调节象散的方式包括以下任一种： 桩点插值法手动调象散IStigXY； 自动调象散ASC。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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