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龙图腾网获悉纳克微束(北京)有限公司申请的专利一种复合结构的探测系统及探测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313711B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310060452.8，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权一种复合结构的探测系统及探测方法是由何伟;胡继闯;陈志明;张景龙;张子豪;张月新设计研发完成，并于2023-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种复合结构的探测系统及探测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种复合结构的探测系统及探测方法，属于电子显微镜技术领域，把EDS探测器置入物镜内部，在提高空间利用率的同时使EDS更靠近极靴头和样品表面，提高探测效率；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于电子源下方，所述物镜设于电子加速电极下方，所述样品设于物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和物镜后到达样品表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器的探头位于物镜的探测口处；所述样品置于样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。

本发明授权一种复合结构的探测系统及探测方法在权利要求书中公布了：1.一种复合结构的探测系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元； 所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于所述电子源下方，所述物镜设于所 述电子加速电极下方，所述样品设于所述物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电 子加速电极和所述物镜后到达所述样品的表面； 所述EDS探测器以斜插方式设置在所述物镜内部，所述EDS探测器的探头位于所述物镜的探测口处； 所述样品置于所述样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接；控制单元控制样品台的动作，带动其上的样品实现上升、下降以及在水平面方向的二维移动； 所述物镜的外环侧壁上设有过孔，所述EDS探测器的尾端位于所述过孔内，且所述EDS探测器的外周与所述过孔密封式连接；所述过孔的数量是多个，EDS探测器的设置数量也是多个，过孔和EDS探测器一一对应；所述EDS探测器的尾端与伸缩结构连接，且跟随所述伸缩结构的伸缩动作斜向位移；所述伸缩结构与所述控制单元连接； 所述物镜与所述样品上表面的距离为5mm以内； 所述系统还包括CL荧光探测器，所述CL荧光探测器设置在所述样品的上方和所述物镜的下方；所述系统还包括SE探测器，所述SE探测器设置在所述物镜内环侧壁的近上端处。

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