中国科学院上海高等研究院邓海啸获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海高等研究院申请的专利极紫外光源装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116321645B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310163902.6，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权极紫外光源装置是由邓海啸;杨涵翔设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外光源装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种极紫外光源装置，包括种子激光发生器、电子源、电子直线加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和放大器，电子源产生的第一电子束被电子直线加速器加速后形成第二电子束；种子激光发生器用于产生种子激光，其和第二电子束均注入第一调制段中，以使第二电子束产生第一次能量调制，得到第三电子束；第一色散段对第三电子束压缩，形成第四电子束；第二调制段使第四电子束产生相干辐射，并被相干辐射第二次能量调制而形成第五电子束；第二色散段对第五电子束压缩，形成第六电子束；放大器使第六电子束产生辐射并发出千瓦量级的极紫外光。本发明的极紫外光源装置，可产生平均功率千瓦量级的极紫外光，且结构紧凑。
本发明授权极紫外光源装置在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光源装置，其特征在于，包括沿电子束传播方向依次设置的电子源、电子直线加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和放大器，所述第一调制段的上游还设有种子激光发生器；所述电子源用于产生第一电子束，所述第一电子束经过所述电子直线加速器加速后形成第二电子束；所述种子激光发生器用于产生种子激光，所述种子激光和所述第二电子束均注入所述第一调制段中，以使所述第二电子束在所述种子激光的作用下产生第一次能量调制，得到第三电子束；所述第一色散段用于对所述第三电子束压缩，形成第四电子束；所述第二调制段用于使第四电子束产生相干辐射，所述第四电子束被所述相干辐射第二次能量调制而形成第五电子束；所述第二色散段用于对所述第五电子束压缩，形成第六电子束；所述放大器使所述第六电子束产生辐射并发出千瓦量级的极紫外光。
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