买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利变刚度悬臂梁传感器结构、阵列及制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116399495B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310441444.8，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权变刚度悬臂梁传感器结构、阵列及制作方法是由徐瞻;李加东;苗斌;顾智琦;胡益民;徐博瑄设计研发完成，并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本变刚度悬臂梁传感器结构、阵列及制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种变刚度悬臂梁传感器结构，变刚度悬臂梁传感器阵列及变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法。变刚度悬臂梁传感器结构包括支撑结构和悬臂梁结构，所述悬臂梁结构设置于所述支撑结构上，所述悬臂梁结构包括沿远离所述支撑结构方向依次设置的感应部以及传递部，所述感应部的厚度小于所述传递部的厚度，所述感应部上设置有压敏电阻。本发明的变刚度悬臂梁传感器结构，通过变刚度结构设计‑传递部与感应部的不同厚度，提高相同外力作用下，压敏电阻所在区域的局部应力，从而提高悬臂梁传感器的灵敏度。

本发明授权变刚度悬臂梁传感器结构、阵列及制作方法在权利要求书中公布了：1.一种变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法，其中所述变刚度悬臂梁传感器结构，包括：支撑结构和悬臂梁结构，该悬臂梁结构设置于所述支撑结构上，所述悬臂梁结构包括沿远离所述支撑结构方向依次设置的感应部以及传递部，所述感应部的厚度小于所述传递部的厚度，所述感应部上设置有压敏电阻，其特征在于，该变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法包括： 提供晶圆，所述晶圆具有相对设置的第一表面和第二表面； 在晶圆的第一表面上形成所述变刚度悬臂梁传感器结构的悬臂梁结构； 从晶圆的第二表面刻蚀所述悬臂梁结构的感应部，使其厚度小于所述传递部的厚度；以及 从晶圆的第一表面于所述感应部处设置压敏电阻； 其中从晶圆的第二表面刻蚀所述悬臂梁结构的感应部的步骤，包括： 提供模具组件，所述模具组件包括第一模具本体和第二模具本体，所述第二模具本体上形成有贯穿设置有槽孔； 将晶圆放置于所述第一模具本体以及所述第二模具本体之间并限位，其中，所述晶圆的第一表面与所述第一模具本体相贴合设置，所述第二模具本体的槽孔暴露所述悬臂梁结构的感应部；和 通过所述槽孔刻蚀所述悬臂梁结构的感应部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。