拓荆科技(上海)有限公司尹艳超获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利液态源气相传输系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116772110B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310729521.X，技术领域涉及：F17D1/02；该发明授权液态源气相传输系统和方法是由尹艳超;谭华强;邓浩;李洪昊;叶五毛设计研发完成，并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本液态源气相传输系统和方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种液态源气相传输系统和方法，涉及半导体领域。液态源气相传输系统包括储存装置、反应装置以及输送管线。储存装置包括容器和容器加热组件，容器加热组件用于对所述容器进行加热，以使所述容器中的液态原料气化。输送管线连通容器和反应装置的反应腔室。输送管线包括内管、套设于所述内管外的外管以及设置于外管外侧的管线加热组件，外管与内管之间填充有保护气体，内管内部用于输送气态原料。本申请实施例提供的液态源气相传输系统和方法能够对原料进行均匀加热，不容易产生凝结导致颗粒污染。此外，液态源气相传输系统和方法具有较佳的安全性。
本发明授权液态源气相传输系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种液态源气相传输系统，其特征在于，包括： 储存装置，包括容器和容器加热组件，所述容器用于存储液态原料，所述容器加热组件用于对所述容器进行加热，以使所述容器中的液态原料气化；其中，所述容器内压力维持在原料的饱和蒸气压以下； 反应装置，包括反应腔室； 输送管线，所述输送管线连通所述容器和所述反应腔室，所述输送管线包括内管、套设于所述内管外的外管以及设置于所述外管外侧的管线加热组件，所述外管与所述内管之间填充有保护气体，所述内管内部用于输送气态原料，所述管线加热组件用于加热所述输送管线中的气态原料； 其中，所述管线加热组件包括原料输送方向布置的多个加热段，各个所述加热段可独立控制加热功率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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