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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所唐瓦获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种离子束加工装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117001506B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311082710.9,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权一种离子束加工装置及方法是由唐瓦;胡海翔;罗霄;张学军设计研发完成,并于2023-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种离子束加工装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提出一种离子束加工装置及方法,具体涉及于光学加工技术领域,所述离子束加工装置所述离子束加工装置包括加工平台,其中:所述加工平台上一侧固定有真空运动机构,另一侧固定有工件,所述真空运动机构的一侧固定有屏幕,所述屏幕朝向所述工件一侧,所述屏幕用于发射条纹,本发明提供的离子束加工装置通过屏幕发射条纹,并通过条纹反射法实时监控加工材料的第一去除分布,可以直接通过条纹反射法进行确定离子束的中心,并结合空间坐标,确定驻留时间,最后计算第一去除分布和第二去除分布,来进行完成离子束加工抛光,并给出第二轮加工的驻留时间,能够显著提升离子束抛光的加工收敛效率和准确性。

本发明授权一种离子束加工装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种离子束加工方法,其特征在于,通过离子束加工装置执行所述加工方法,所述离子束加工装置包括加工平台,其中: 所述加工平台上一侧固定有真空运动机构,另一侧固定有工件,所述真空运动机构的一侧固定有屏幕,所述屏幕朝向所述工件一侧,所述屏幕用于发射条纹,所述条纹用于计算工件的信息,所述真空运动机构靠近所述工件一侧固定有用于发射离子束的离子源,所述离子源朝向所述工件方向,所述加工平台上还设有光学镜面,所述光学镜面通过工装固定于所述加工平台上,所述真空运动机构另一侧还设固定有相机,所述相机通过调整架与所述真空运动机构固定连接,所述相机朝向所述工件一侧; 所述离子束加工方法包括以下步骤: S1.获取工件面形数据以及工件在加工平台上的空间坐标; S2.通过去除函数实验和条纹反射法进行确定去除函数; S3.根据工件面形数据、空间坐标和去除函数获取加工驻留时间,并生成运动系统; S4.执行离子束抛光加工,同时通过条纹反射法获取离子束抛光加工过程中的第一去除量分布; S5.通过第一去除量分布的结果计算得到第二去除量分布的结果; S6.重复离子束抛光加工直至工件符合标准; 其中:所述S2步骤中确定去除函数包括以下步骤:预先设定离子源工作参数;将光学镜面安装至所述加工平台上,并对光学镜面进行单点材料去除;通过条纹反射法进行测量第三去除量分布;计算得到光学镜面的中心位置坐标;根据所述第三去除量分布和中心位置坐标计算并确定所述去除函数; 所述通过条纹反射法获取加工过程中的第一去除量包括以下步骤:设置采样频率至预设频率内;结合驻留时间与光栅尺位置读数;计算得到离子抛光加工过程中的所述第一去除量分布; 所述S5步骤中计算第二去除量分布结果步骤包括:获取某一位置的所述第一去除量分布Rtx,y,其中x,y为该点对应的位置;获取离子束在预设频率内离子束经过的路径Lx,y;计算得到路径区间的所述第一去除量分布Fix,y,其中所述第一去除量分布的表达式为:Fix,y=Rtx,yLx,y;根据所述第一去除量分布计算得到所述第二去除量分布结果M1,M1为每一位置的所述第一去除量分布合集,其中M1=[F0x,y…;…;…Fix,y]。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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