无锡京运通科技有限公司陈川南获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡京运通科技有限公司申请的专利单晶硅片的切削清洗装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117283729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311506666.X,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权单晶硅片的切削清洗装置及方法是由陈川南设计研发完成,并于2023-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶硅片的切削清洗装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了单晶硅片的切削清洗装置及方法,包括:支撑架,以及设置在所述支撑架上的处理箱;所述处理箱顶部连接有安装架,以及设置在安装架内顶部的螺杆输送组件,用于单晶硅棒的间歇输送;以及设置在安装架前端的多线切割组件,用于单晶硅棒的等距分切并形成若干单晶硅片;还包括连通在处理箱顶部的清洗箱,所述清洗箱内部设置有承接台阶组件。本发明通过多线切割组件的设置,从而利用形成的若干平行切割线即可对单晶硅棒进行多段等间距切割,即可在一次切割后,成型多个单晶硅片,该设计下,极大的提高了工作效率,同时保证了单晶硅片的切割质量。
本发明授权单晶硅片的切削清洗装置及方法在权利要求书中公布了:1.单晶硅片的切削清洗装置,其特征在于,包括: 支撑架2,以及设置在所述支撑架2上的处理箱1; 所述处理箱1顶部连接有安装架10,在安装架10内顶部设置有螺杆输送组件,用于单晶硅棒14的间歇输送; 在安装架10前端设置有多线切割组件,用于单晶硅棒14的等距分切并形成若干单晶硅片; 所述切削清洗装置还包括连通在处理箱1顶部的清洗箱5以及设置在所述处理箱1侧壁上的进水管4,所述清洗箱5内部设置有承接台阶组件,用于承接切割后的若干单晶硅片;由所述进水管4向处理箱1内部通水并浸没清洗箱5所在承接台阶组件的上表面; 所述切削清洗装置还包括设置在所述清洗箱5外壁的气泡喷淋组件,用于向清洗箱5内部水中高速喷射并产生空化泡进而对切割后的若干单晶硅片进行高能气泡洗; 所述承接台阶组件包括若干台阶部,每个所述台阶部上下限位安装在清洗箱5的内壁上,且所述台阶部从右至左高度逐级降低; 每个所述台阶部包括纵向设置的横板33,以及竖向垂直固定在横板33左侧端部的一个衔接板34,所述衔接板34上端侧壁与横板33的左侧首端在纵向方向上紧贴,且每个所述横板33沿前后纵向方向上开设有若干通孔; 所述承接台阶组件还包括设置在所述清洗箱5内壁上的波动顶升机构,用于若干台阶部间隔起伏波动,进而实现单晶硅片在竖直紧邻状态与向右侧水平面倾斜叠放状态的切换波动; 所述波动顶升机构包括若干支撑杆36,每个所述支撑杆36上下限位在清洗箱5的内,且每个支撑杆36顶部与对应位置衔接板34的下表面固定连接; 还包括左右横向固定在清洗箱5内部的液压伸缩杆40,所述液压伸缩杆40的输出端固定连接有多段成V字形可伸缩的第二传动条37,每个呈V字形的第二传动条37的分段部分在竖向方向上对应两个支撑杆36,每个所述第二传动条37上的V字形分段部分的上升部分和下降部分均开设有若干限位槽38,对应所述第二传动条37上的V字形分段部分的相邻两个限位槽38呈倒八字形分布,每个所述支撑杆36下部还均固定有限位柱39,每个所述限位柱39限位滑动在限位槽38内部; 所述清洗箱5靠近安装架10的侧壁设置有具有折弯部的出料限位板35,位于所述承接台阶组件最左侧末端的横板33与出料限位板35的折弯部初始端部接触; 所述多线切割组件包括分别设置在所述安装架10与所述清洗箱5相接垂直平面前后两侧的两组电动滑轨15,每组所述电动滑轨15内部分别安装有电动滑块30,所述电动滑块30朝向所述清洗箱5一侧的侧壁均固定有安装盘17,每组所述安装盘17为包括横向段和竖直段的T形结构,每个所述安装盘17的竖直段上设置有若干个安装条22,前后两侧的安装盘17上的若干个安装条22呈一一对应的前后方向纵向设置,且每个安装盘17上的若干所述安装条22均呈等间距分布且滑动安装在安装盘17所在的滑槽内; 每个安装条22靠近所述装置沿其左右方向延伸的中心线方向的相对端固定有安装件24,且每个所述安装件24上安装有两个传动轮23,所述多线切割组件还包括分别设置在前侧安装盘17和后侧安装盘17上的均呈向下L型的第一连接条44和第二连接条45,所述第一连接条44与第二连接条45的水平段端部分别固定有第二电机20和第一电机19,所述第二电机20输出轴端部固定有收卷辊25,所述第一电机19输出轴端部固定有放卷辊26,所述放卷辊26与收卷辊25之间绕接有切割线16,所述切割线16依次穿过每个安装件24左右两侧的两个传动轮23,且每个安装条22上的两个所述传动轮23均与切割线16的外壁相切; 所述多线切割组件还包括设置在所述安装盘17上的限位传动机构,所述限位传动机构可带动若干安装条22的等间距扩展进而调节纵向方向线切割所述单晶硅棒14的间距; 所述限位传动机构包括安装在每个安装盘17的横向段内可转动的第一螺杆28,以及设置在安装盘17内部限位滑动的第一杆套29,所述第一杆套29与第一螺杆28之间螺纹连接,所述第一杆套29固定连接有沿左右方向延伸的第一传动条18,所述第一传动条18上开设有若干个传动槽21,且若干个传动槽21以第一传动条18的纵向中心线对称分布,所述限位传动机构还包括固定在每个所述安装条22远离所述装置沿其左右方向延伸的中心线方向上的传动柱43,每个所述传动柱43在相应的传动槽21内前后方向限位移动;所述限位传动机构还包括固定在每个安装盘17外壁的第三电机27,所述第三电机27的输出轴穿过安装盘17所在的通孔并与对应位置第一螺杆28的端部固定。
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