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龙图腾网获悉华北电力大学申请的专利基于化学气相沉积法制备ε-Ga2O3薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117604492B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311639542.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权基于化学气相沉积法制备ε-Ga2O3薄膜的方法是由王文杰;李现旭;高东文;惠诗淇设计研发完成，并于2023-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于化学气相沉积法制备ε-Ga2O3薄膜的方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及基于化学气相沉积法制备ε‑Ga22O33薄膜的方法，包括：将氧化镓粉末置于石英管的加热区，衬底置于石英管的沉积区；沉积区和加热区一体连接且连通；衬底与加热区之间具有预设的第一距离；从石英管的加热区的一端通入载气和氢气的混合气体；氢气在混合气体中的比例为5％‑10％；常压下，对石英管的加热区加热至预设温度，在预设温度下保温预设时长，使得氧化镓粉末在氢气的作用下，被还原成镓蒸汽和水蒸气，同时，镓蒸汽和水蒸气随所述混合气体的气流在沉积区生成氢氧化镓和氢气，之后氢氧化镓受热分解在所述沉积区的衬底上进行沉积，再经退火处理，得到ε‑Ga22O33薄膜；其中，加热区的预设温度为900℃‑1200℃；沉积区的温度为500℃‑850℃。

本发明授权基于化学气相沉积法制备ε-Ga2O3薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于化学气相沉积法制备ε-Ga2O3薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括： 将氧化镓粉末置于石英管的加热区，衬底置于所述石英管的沉积区；所述沉积区和所述加热区一体连接且连通；所述衬底与所述加热区之间具有预设的第一距离； 从所述石英管的加热区的一端通入载气和氢气的混合气体；所述氢气在所述混合气体中的比例为5%-10%；所述混合气体的气体流量为60sccm-100sccm； 常压下，对所述石英管的加热区加热至预设温度，在预设温度下保温预设时长，使得所述氧化镓粉末在氢气的作用下，被还原成镓蒸汽和水蒸气，同时，所述镓蒸汽和水蒸气随所述混合气体的气流在沉积区生成氢氧化镓和氢气，氢氧化镓受热分解在所述沉积区的衬底上进行沉积，再经退火处理，得到ε-Ga2O3薄膜；其中，所述加热区的预设温度为900℃-1200℃；所述沉积区的温度为500℃-850℃。

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