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龙图腾网获悉长光卫星技术股份有限公司申请的专利可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119413102B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411581090.8，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路是由李祥熙;高啟翔;钟兴;谭陆洋;吴沛霖设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路在说明书摘要公布了：本发明属于非接触式高精密元件检测技术领域，为了满足非接触式高精密元件表面测量精度的要求，进一步减轻环境波动的影响，本发明提出一种“可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路”，通过采用两级系统设计：第一级采用双频外差干涉光路，在四倍程光路细分下其分辨率可达0.3nm，通过对称放置测量反射镜c和参考反射镜c，使得干涉光路呈现几何对称，环境干扰带来的ΔΦ经过差动相减过可以减小环境扰动带来的相位漂移；在双频外差干涉光路的基础上设计了差分光路并将其与第二级的差动共焦光路进行集成，可以实现高精度对待测元件表面进行跟踪。

本发明授权可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路在权利要求书中公布了：1.可减轻环境波动影响的非接触式检测传感器集成差分光路，其特征在于，激光器31位于光路右侧，垂直射入与其在同一水平线的第一直角棱镜32中，差动共焦光束偏折90°向下进行传播依次通过位于正下方的角锥棱镜c33、偏振分光棱镜c34和其底部的第一14波片c35以及物镜c36会聚在待测元件表面，其中，第一直角棱镜32底部、角锥棱镜c33、第一14波片c35以及物镜c36中心与差动共焦光轴重合；会聚在待测元件表面的光束原路返回并经偏振分光棱镜c34反射后垂直射入位于其左侧的第二14波片c37；偏振分光棱镜c34左侧设置一半透半反镜c38，其中心空间位置与偏振分光棱镜c34在水平方向中心相重合，反射镜39位于半透半反镜c38正上方，两路会聚镜c315、针孔c和光电探测器c从右到左依次与半透半反镜c38和反射镜39共轴，针孔c分别位于会聚镜c315焦点前距焦面的瑞利距离处； 双频外差激光干涉仪316发出频率为f0和f1振动方向相互垂直的线偏振光，首先穿过第二14波片c37，经过偏振分光棱镜c34实现分束，一束为透射光p光、一束为反射光s光，透射光p光通过偏振分光棱镜c34右侧的第三14波片c310，其与偏振分光棱镜c34水平方向中心重合，之后穿过第三14波片c310右侧的第二直角棱镜311，透射光p光折转90°垂直射入与物镜c36在同一水平位置的参考反射镜c312，经反射后依次经过第二直角棱镜311，第三14波片c310、偏振分光棱镜c34反射，并经过角锥棱镜c33回射后经偏振分光棱镜c反射再次进入第三14波片c310，并经第二直角棱镜311反射后垂直射入参考反射镜c312原路返回经偏振分光棱镜c34透射；反射光s光通过第一14波片c35垂直射向与物镜c36同一水平位置的测量反射镜c313，测量反射镜c313和物镜c36共同固定在伺服装置上，经测量反射镜c313反射后射入第一14波片c35、偏振分光棱镜c34、角锥棱镜c33回射后经偏振分光棱镜c34投射，再次进入第一14波片c35并再次垂直射入测量反射镜c313返回至偏振分光棱镜c34射出与透射光p光形成拍频。

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