湖北三峡实验室李欣获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北三峡实验室申请的专利一种光刻胶组合物改性方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119511634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411470286.X，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种光刻胶组合物改性方法是由李欣;池汝安;李少平;马会娟;韩庆文;匡步肖;周钢翔;吴翔;粟鹏;胡聪;周悦尔设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶组合物改性方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种适用于光刻胶的改性方法。所述光刻胶是一类正性光刻胶，包括酚醛聚合物树脂、重氮萘醌型光引发剂、溶剂、添加剂。本发明采用多碳基烯醇化合物作为前驱体制备得到重氮萘醌磺酸酯型感光化合物，利用重氮萘醌磺酸酯型感光化合物中携带的醛基与胺类添加剂通过希夫碱反应对光引发剂‑酚醛树脂耦合产物进行接枝，调节其溶解抑制作用，从而增强光刻胶分辨率、抗刻蚀性能以及曝光显影后边缘粗糙度等关键特性。
本发明授权一种光刻胶组合物改性方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶改性方法，其特征在于，将适量的胺基化合物加入到光刻胶组合物中，通过席夫碱反应，将胺基化合物结构接枝到重氮萘醌光引发剂和酚醛树脂耦合产物上，所述光刻胶组合物中包含酚醛聚合物树脂、重氮萘醌型光引发剂、溶剂以及添加剂； 所述的胺基化合物为苯胺、联苯二胺、间苯三胺、对甲基苯胺中的一种或多种； 所述光刻胶中重氮萘醌型光引发剂具有如下所示结构： ，D不完全为H； 其中X各自独立的表示N、C，R各自独立的表示氢、C1～C18的烷基，其中k表示1到3之间任意整数，n表示1，m表示2～3之间的整数。
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