应用材料以色列公司瓦迪姆·维列斯卡金获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利判定图样的临界尺寸变化获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119650449B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411509089.4,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权判定图样的临界尺寸变化是由瓦迪姆·维列斯卡金;罗马·克里斯;伊谢·施瓦茨班德;波阿斯·科恩;阿里尔·沙卡林;叶夫根尼·巴尔设计研发完成,并于2018-10-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本判定图样的临界尺寸变化在说明书摘要公布了:可接收图样的参考图像和图样的捕获图像。可识别图样的感兴趣的轮廓。可对每一参考图像和捕获图像针对图样的感兴趣轮廓,判定图样的尺寸的一个或多个测量结果。可基于对每一参考图像和捕获图像所判定的图样尺寸的一个或多个测量结果,来分类相关联于感兴趣轮廓的缺陷。
本发明授权判定图样的临界尺寸变化在权利要求书中公布了:1.一种方法,包括: 接收包括图样的图像和标识所述图样的改变部分的位置数据的输入数据; 由处理装置通过在所述改变部分的轮廓相对于所述改变部分的外部轮廓或所述改变部分的内部轮廓中的至少一个改变最大的位置上测量临界尺寸参数值来确定所述图样内的第一尺寸的第一参数; 由所述处理装置确定所述图样外的第二尺寸的第二参数; 基于所述第一参数和所述第二参数生成结合组;和 基于临界尺寸参数对与所述改变部分相关联的缺陷进行分类,所述临界尺寸参数基于来自所述结合组的第一值和与参考图像相关联的第二值而确定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列雷霍沃特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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