福州大学;福建晶安光电有限公司张海忠获国家专利权
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龙图腾网获悉福州大学;福建晶安光电有限公司申请的专利一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119685939B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510005880.X,技术领域涉及:C30B33/10;该发明授权一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法是由张海忠;洪煜枫;杨胜裕设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法,属于氮化镓单晶衬底制作领域。利用氮化镓成品单晶材料局部缺陷区域相对正常区域内具有的局域能量致使腐蚀所需的自由能降低的原理,对有缺陷的区域采用化学药剂或高温气氛对缺陷处进行定向腐蚀处理,重新投入氢化物气相外延HVPE设备回炉外延0‑100μm,将被腐区域重新愈合,再经磨抛后修复有缺陷的区域,制成成品单晶。通过本方法只需生长0‑100μm修复缺陷单晶表面,相对重新生长700μm厚度制备成品单晶而言,可大幅缩短成本,提升产品良率。
本发明授权一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法在权利要求书中公布了:1.一种局部缺陷氮化镓成品单晶的修复方法,其特征在于:对局部缺陷氮化镓成品单晶先利用腐蚀液或高温气氛进行定向腐蚀处理,再投入HVPE设备回炉外延重新愈合被腐区域,最后经磨抛后修复有缺陷的区域; 所述腐蚀液为磷酸、硝酸、过氧化氢、氢氧化钠、氢氟酸、硫酸、盐酸、缓冲氧化物蚀刻液中的一种或几种; 所述高温气氛使用的气体为H2、N2、O2、HCl、Cl2或BCl3中的一种或几种; 所述回炉外延的厚度为20-100μm。
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