北京航空航天大学邱璐获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120009317B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510216582.5，技术领域涉及：G01N23/2202；该发明授权基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法是由邱璐;陈翔宇;朱剑琴;陶智设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法在说明书摘要公布了：基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法，属于薄膜材料领域，包括：在脆性基板上制造待测薄膜；将吸光材料纳米微粒分散至有机溶剂中配置成墨水，并进行超声分散，通过水浴控制墨水的分散温度；过滤分散后的墨水得到ITO纳米微粒墨水；设定驱动波形获得ITO液滴；对制备好待测薄膜的脆性基板进行加热；设置打印参数和打印图案开始喷墨打印，获取吸光材料线路；对制备好待测薄膜和吸光材料线路的脆性基板进行加热处理；调整激光器光斑直径和激光参数，设置激光扫描路径，开启激光进行烧结处理，实现脆性基板断裂；对断裂基板进行扫描电镜分析。本发明具有操作简单、裂面平整、制样效率高、适用性广、成本低、可重复性等优点。
本发明授权基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法在权利要求书中公布了：1.基于激光热断脆性基板的薄膜材料扫描电镜截面制样方法，其特征在于，包括以下步骤： S101：在脆性基板上制造待测薄膜；所述待测薄膜材料为：氧化铟或铜；所述脆性基板材料为：氧化铝基板或单晶硅基板； S102：将吸光材料的纳米微粒分散至有机溶剂中，配置成墨水；使用超声破碎仪对墨水进行超声分散，并通过水浴控制墨水的分散温度；用0.45μm的聚四氟乙烯滤膜过滤分散后的墨水，得到ITO纳米微粒墨水；设定驱动波形，获得ITO液滴；对制备好待测薄膜的脆性基板进行加热处理；设置打印参数和打印图案开始喷墨打印，获取吸光材料线路； S103：对制备好待测薄膜和吸光材料线路的脆性基板进行加热处理；调整激光器光斑直径，设置激光扫描路径，调整激光参数，开启激光进行烧结处理，实现脆性基板断裂，获取热应力断裂基板； S104：对热应力断裂基板进行扫描电镜分析。
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