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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利用于实现FIB表征-EBSD表征联用的系统、方法、样品安装装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120142344B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510629303.8，技术领域涉及：G01N23/20025；该发明授权用于实现FIB表征-EBSD表征联用的系统、方法、样品安装装置是由高尚;黄梦诗;马清;刘海涛设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于实现FIB表征-EBSD表征联用的系统、方法、样品安装装置在说明书摘要公布了：本发明涉及电镜制样和表征技术领域，提供了一种用于实现FIB表征‑EBSD表征联用的系统、方法、样品安装装置。样品安装装置可用于FIB表征‑EBSD表征的联用系统，包括具有预设倾斜面的安装台，所述安装台的底部设置有用于安装至电镜设备的连接结构；所述安装台的预设倾斜面设置有用于供样品钉台或和样品连接的定位结构。在FIB制备样品时采用带有倾斜功能的样品台，使用掠入射的方法，使得可以加工表面的任意处，并在FIB加工后，通过样品台调整角度以满足EBSD的表征条件，应用效果佳。

本发明授权用于实现FIB表征-EBSD表征联用的系统、方法、样品安装装置在权利要求书中公布了：1.一种用于实现FIB表征-EBSD表征联用的方法，其特征在于，采用用于实现FIB表征-EBSD表征联用的系统，所述系统包括电镜设备，所述电镜设备包括主样品台、SEM部件和FIB部件和样品安装装置；所述样品安装装置可拆卸式连接于所述主样品台，所述SEM部件和FIB部件设置于所述主样品台上方，所述SEM部件的镜筒和所述FIB部件的镜筒均指向于所述主样品台的方向，且所述SEM部件的镜筒和所述FIB部件的镜筒呈夹角设置；所述SEM部件的镜筒与水平面垂直；所述FIB部件的镜筒与所述SEM部件的镜筒之间的夹角为52度或54度；所述样品安装装置包括具有预设倾斜面的安装台，所述安装台的底部设置有用于安装至电镜设备的连接结构；所述安装台的预设倾斜面设置有用于供样品钉台或和样品连接的定位结构；所述安装台的底面为与电镜设备安装面贴合的底部平面，所述预设倾斜面与所述底部平面之间的夹角为45度；所述安装台底部的连接结构为圆柱，用于插接所述电镜设备中旋转台的预设插孔，所述定位结构为插接孔，所述样品钉台具有可插接于所述插接孔的钉台插接柱，测试时，样品固定在样品钉台上，然后将样品钉台插入安装台的插接孔中，并通过安装台侧面的螺栓进行紧固，使样品钉台和样品牢固结合，再将整个安装台插入电镜设备的主样品台中； 所述方法包括以下步骤： 测量步骤：以测量样品测试面相对于水平面的精确角度，将样品安装于所述样品安装装置，并使所述样品安装装置安装于主样品台，通过电镜设备观察样品的上下楞重合并记录所述主样品台的倾斜角度θ1，得出样品安装装置水平放置时，样品加工面与水平面的夹角α为：90°-θ1； FIB加工步骤：将所述主样品台整体旋转180°，并使样品加工面与FIB部件的镜筒呈角度A，所述主样品台倾斜的角度θ2=α-90°-β+A°，所述角度A为5°，使样品加工面与离子束呈5°； EBSD表征步骤：所述主样品台整体旋转180°以面向EBSD探测器，将样品加工面设置至与水平面呈角度B，所述主样品台倾斜的角度θ3=B-α，所述角度B的范围为70°，β为SEM镜筒和FIB镜筒的夹角且为52°或54°； 在所述FIB加工步骤和所述EBSD表征步骤之间，还包括FIB加工区域与EBSD测试区域对位步骤：采用离子束刻蚀区作为标记的方式在样品上进行标记，且电子束加速电压设置小于5kV，并使用物镜内探测器； EBSD步骤中，表征区域为几百微米乘以几百微米的区域，所述FIB加工步骤中，加工面积大于设定面积时，采用30kV加速电压，65nA的电流进行FIB加工，通过离子束切割或铣削样品以暴露其内部结构，像素重叠选择为95%，所述像素重叠为相邻加工区域之间的重叠部分，剂量为2-3，所述剂量为离子束在单位面积上的能量沉积量，循环次数选择为1；所述FIB加工步骤中，如果存在窗帘效应，降低电流为前述电流的三分之一并降低剂量为0.5再次加工，如果30kV导致样品表面损伤而使得EBSD花样不佳，附加采用5kV的电压对样品的表面进行清扫。

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