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深圳奉天实业有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳奉天实业有限公司申请的专利实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120335395B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510478936.3,技术领域涉及:G05B19/4097;该发明授权实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统,通过实时采集FIB设备的加工环境监测数据和加工效果监测数据,生成实时监测数据集合,根据实时监测数据集合中的加工环境特征参数集和加工效果特征参数集,对实时监测数据集合进行参数特征提取处理,生成参数特征向量集合,将参数特征向量集合输入至预训练的动态参数优化模型,生成优化参数调整指令集合,根据优化参数调整指令集合,对FIB设备的当前加工参数进行调整,生成调整后加工参数集,然后基于调整后加工参数集执行实时加工,并循环执行实时采集的过程以更新实时监测数据集合。本发明能满足高精度复杂结构加工对实时性、稳定性及能效协同的要求。

本发明授权实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种实时监测反馈的FIB设备加工参数优化方法,其特征在于,所述方法包括: 实时采集FIB设备的加工环境监测数据和加工效果监测数据,生成实时监测数据集合;所述加工环境监测数据包括温度分布数据、电场强度分布数据和磁场强度分布数据,所述加工效果监测数据包括离子束聚焦精度数据和材料去除速率数据; 根据所述实时监测数据集合中的加工环境特征参数集和加工效果特征参数集,对所述实时监测数据集合进行参数特征提取处理,生成参数特征向量集合;所述参数特征向量集合中的每个特征向量包括温度波动特征值、电场强度梯度特征值及磁场强度偏差特征值的组合; 将所述参数特征向量集合输入至预训练的动态参数优化模型,生成优化参数调整指令集合;所述动态参数优化模型通过历史加工数据中环境参数与加工参数的映射关系训练生成,所述优化参数调整指令集合包括离子束强度调整值、扫描路径偏移量及聚焦补偿系数; 根据所述优化参数调整指令集合,对所述FIB设备的当前加工参数进行调整,生成调整后加工参数集; 基于调整后加工参数集执行实时加工,并循环执行实时采集的过程以更新所述实时监测数据集合,具体包括:在执行调整后加工参数集的过程中,同步采集加工区域的实时热成像数据及离子束轨迹数据; 根据所述实时热成像数据计算热效应累积量,并当所述热效应累积量超过预设安全阈值时,触发加工中断指令; 在加工中断期间,根据所述离子束轨迹数据与目标加工路径的偏差量,生成路径校准参数并更新至所述调整后加工参数集; 重新启动加工后,将更新后的调整后加工参数集输入至所述动态参数优化模型进行二次优化,生成修正后的优化参数调整指令集合; 根据所述修正后的优化参数调整指令集合继续执行加工,直至完成全部加工任务; 在所述基于调整后加工参数集执行实时加工的过程中,实时采集加工区域的表面形貌数据及离子束驻留时间分布数据,生成加工表面质量监测数据集; 将所述加工表面质量监测数据集与目标加工设计图中的理论形貌轮廓数据进行逐像素比对,生成表面形貌误差映射图及驻留时间偏差分布图; 从所述表面形貌误差映射图中提取超出公差阈值的异常区域坐标集,并根据所述驻留时间偏差分布图匹配对应坐标的离子束扫描速度异常值,生成扫描速度校正量集合; 将所述异常区域坐标集及扫描速度校正量集合输入至所述动态参数优化模型的历史数据缓存队列,触发所述动态参数优化模型的在线增量学习流程,生成更新后的聚焦补偿系数修正值及扫描路径偏移补偿量; 根据所述聚焦补偿系数修正值及扫描路径偏移补偿量生成二次校准参数集,并将所述二次校准参数集叠加至所述调整后加工参数集,生成迭代优化后的加工参数配置文件; 在后续加工循环中优先应用所述迭代优化后的加工参数配置文件执行局部区域的重加工,同时持续采集重加工区域的表面粗糙度数据以验证参数修正效果,若粗糙度数据未达到预设标准则再次触发所述在线增量学习流程。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳奉天实业有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘坑社区甘李六路12号中海信创新产业城13栋A102-2;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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