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龙图腾网获悉上海工程技术大学申请的专利一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120490537B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510626793.6，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计是由杨夫勇;陈芳进;王影;邢彦锋;曹菊勇;张小兵设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计在说明书摘要公布了：本发明涉及高精度加速度计技术领域，特别是涉及一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计，包括两个同轴设置的微机械传感单元，两个微机械传感单元上下相互垂直设置，微机械传感单元包括硅衬底，硅衬底的上方设置有敏感质量块，硅衬底与敏感质量块之间对称设置有定齿，两个定齿相对的一侧设置有动齿，两个动齿之间对称设置有用于对敏感质量块进行支撑的支撑组件，硅衬底设置有用于实时监测和补偿温度的温度补偿电路，硅衬底的一端设置有固定极。本发明能够使X轴和Y轴测量性能一致，并能够同时测量二维空间内两个轴向加速度；同时，能够有效在高冲击、温度变化环境下实现高精度、高可靠性的加速度测量。

本发明授权一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计，其特征在于：包括两个同轴设置的微机械传感单元，两个所述微机械传感单元上下相互垂直设置，所述微机械传感单元包括硅衬底9，所述硅衬底9的上方设置有敏感质量块，所述硅衬底9与所述敏感质量块之间对称设置有定齿1，两个所述定齿1相对的一侧设置有动齿2，两个所述动齿2之间对称设置有用于对所述敏感质量块进行支撑的支撑组件，所述硅衬底9设置有用于实时监测和补偿温度的温度补偿电路，所述硅衬底9的一端设置有固定极5； 所述支撑组件包括若干个悬浮梁3，相邻的两个悬浮梁3之间通过弹簧梁4相连接，所述敏感质量块通过所述弹簧梁4悬浮在所述硅衬底9的上方； 所述硅衬底9上生长有多晶硅层7，所述悬浮梁3、所述弹簧梁4在所述多晶硅层7上通过微纳加工刻蚀形成； 所述弹簧梁4为高弹性模量折叠梁； 所述动齿2与所述定齿1相互交错形成梳齿状，且处于所述硅衬底9同一侧的所述动齿2与所述定齿1呈对称排列； 所述硅衬底9上生长有外延硅层6，所述敏感质量块在所述外延硅层6上通过微纳加工刻蚀形成。

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