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龙图腾网获悉苏州钧华半导体技术有限公司申请的专利一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519839B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510782377.5，技术领域涉及：C23C18/16；该发明授权一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构是由鲍杰;李佳锐;庞国强;刘恩设计研发完成，并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体晶圆化学镀工艺槽技术领域，具体为一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构，包括晶圆化学镀膜槽，所述晶圆化学镀膜槽的下端设置有工作腔，所述工作腔的上端固定安装有导向杆，所述工作腔的内部设置有晶圆花篮限位组件和晶圆镀膜组件。采用花篮单元与限位单元相结合，实现晶圆的加固安装，配合抖动单元的设置，实现花篮单元水平往复运动，实现晶圆与电镀液的均匀接触，且通过抖动单元与弯型限位板相互配合，保证花篮单元水平移动稳定的同时，满足晶圆水平往复移动时的小幅度纵向抖动，增加晶圆镀膜的抖动效果，且能够实现花篮单元底部形成晶体的辅助清理，实现一物多用的效果。

本发明授权一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆化学镀工艺槽抖动机构，包括晶圆化学镀膜槽1，所述晶圆化学镀膜槽1的下端设置有工作腔10，所述工作腔10的上端固定安装有导向杆11，其特征在于：所述工作腔10的内部设置有晶圆花篮限位组件和晶圆镀膜组件，所述晶圆花篮限位组件包括弯型限位板2，所述晶圆镀膜组件包括花篮单元3、抖动单元和限位单元，所述晶圆镀膜组件活动设置在晶圆花篮限位组件的内侧，且所述晶圆花篮限位组件固定安装在工作腔10的内腔； 所述花篮单元3由连接端板31、卡件侧板32、中心加固板33及抵接撑杆34组合而成，所述连接端板31及卡件侧板32均设置有两组，两组所述卡件侧板32的两端分别与连接端板31的内侧固定连接，所述抵接撑杆34固定安装在连接端板31的下端，且所述抵接撑杆34的上侧内壁上开设有卡装槽340，所述中心加固板33位于卡件侧板32的中心内侧且与之内侧表面固定连接，所述中心加固板33的上端固定安装有拉环331，所述拉环331的上表面固定连接有吊耳332，所述吊耳332的内表面与导向杆11的外表面滑动连接； 所述抖动单元包括Y型固定背板4，所述Y型固定背板4的上端开设有滑动槽40，所述滑动槽40的内侧表面滑动连接有水平滑杆45，所述水平滑杆45的中心固定增设有凸板，所述凸板的内壁上开设有中心限位槽450； 所述抖动单元还包括有电机41和圆形板42，所述电机41固定安装在晶圆化学镀膜槽1的背侧外表面，所述圆形板42固定安装在电机41的输出轴上，且所述圆形板42转动安装在Y型固定背板4远离电机41的一侧表面，所述圆形板42的外表面固定安装有偏心凸柱421； 所述Y型固定背板4的下端内壁上转动连接有限位柱43，所述限位柱43的外表面固定安装有偏摆臂杆431，所述偏摆臂杆431的内壁上开设有活动槽4310，所述活动槽4310的内表面与偏心凸柱421的外表面活动连接，所述偏摆臂杆431远离限位柱43的一端固定安装有摆动凸柱44，所述摆动凸柱44的外表面与中心限位槽450的内侧活动连接； 所述限位单元包括双端抱杆5，所述双端抱杆5通过螺栓与连接端板31的两侧固定连接，所述双端抱杆5设置有两组且关于卡件侧板32的纵向中心轴线镜像分布，两组所述双端抱杆5的一端分别与水平滑杆45的两端固定连接，所述双端抱杆5远离水平滑杆45的一端与弯型限位板2的上侧外表面滑动连接。

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