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龙图腾网获悉珠海方唯成半导体材料有限责任公司申请的专利一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120595883B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510843110.2，技术领域涉及：G05D23/19；该发明授权一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统是由贾宙;王斌;杜治兴;徐园;严海峰;董银宽;兰海云;袁子检设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，本发明涉及温场控制领域，S1：多源异构数据多维采集与时空融合；S2：温场均衡度量化评估与分布式协同控制，利用S1所采集的数据计算温场均衡度，通过六维模糊PID控制器与一致性算法，完成温场失衡判断及加热器的协同控制，用于提升温场均匀性与稳定性；S3：热、流、沉积、压力四场耦合动态补偿；S4：基于数字孪生的动态学习优化。本发明所述的一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，基于多源异构数据采集、温场均衡控制、四场耦合补偿、数字孪生优化，实现了温场控制精度、复杂工况适应性、设备运维效率的全面提升。

本发明授权一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于HVPE设备的智能温场调控方法，其特征在于：包括以下操作步骤： S1：多源异构数据多维采集与时空融合，通过在HVPE设备不同区域部署数据采集设备进行数据的采集，将其通过时空融合模型处理，完成多源异构数据整合，用于为后续温场控制提供精准数据基础； S2：温场均衡度量化评估与分布式协同控制，利用S1所采集的数据计算温场均衡度，通过六维模糊PID控制器与一致性算法，完成温场失衡判断及加热器的协同控制，用于提升温场均匀性与稳定性； S3：热、流、沉积、压力四场耦合动态补偿，基于四场耦合模型，进行补偿量的计算，用于控制加热器功率与载气流量，完成HVPE设备的动态补偿，用于消除多因素对温场的干扰，具体包括以下操作步骤： S301：建立耦合补偿模型，其中热场-流场-压力耦合的补偿公式为： ； 其中为加热功率补偿量，用于修正流场、沉积、压力变化对温场的干扰；为激光粒子成像仪测量的流场实时状态；为耦合系数，其中=0.8W·sm；=50W·sm；=200WPa； 流程-热场的协同调整公式为： ； 其中为载气流量调整量，用于平衡热场调整导致的流场波动；=0.1sccmW，为功率-流量的转换系数；=5sccmms，为流速稳定性补偿系数，当增大时增加流量稳定性；为激光粒子成像仪测量的流场速度标准差； S302：动态补充执行步骤： 加热功率调整，包括样品区：根据计算PWM占空比调整量，通过射频加热器以100Hz的调制频率实时输出，功率调节精度±0.5W；过渡区：根据过渡区所需承担的跨区热传导补偿值与相乘作为功率补偿值，通过电阻加热器执行调整，功率变化率≤10Ws；尾气区：仅当时，将作为辅助调整量，用于防止尾气温度剧烈波动，通过加热器执行调整； 载气流量调整，通过Brooks5850S质量流量控制器，按公式调整HVPE设备工作时对所需气体的载气流量，用于维持流程稳定性，公式为： ； 其中为调整后载气的目标流量设定值；为调整前载气的原有流量设定值； S4：基于数字孪生的动态学习优化，借助LSTM与PPO算法，结合数字孪生仿真，完成温场趋势预测与控制参数优化，用于实现HVPE设备控制策略的自主优化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海方唯成半导体材料有限责任公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市香洲区永田路399号2栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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