度亘核芯光电技术(苏州)股份有限公司蒋明东获国家专利权
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龙图腾网获悉度亘核芯光电技术(苏州)股份有限公司申请的专利一种激光器导电层结构及其制备方法和激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120601242B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511100452.1,技术领域涉及:H01S5/02345;该发明授权一种激光器导电层结构及其制备方法和激光器是由蒋明东;姚中辉设计研发完成,并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光器导电层结构及其制备方法和激光器在说明书摘要公布了:本申请提供了一种激光器导电层结构及其制备方法和激光器,涉及半导体制造领域,制备的激光器导电层为叠层结构,包括第一金属层、第二金属层和第三金属层,通过在第一金属层进行光刻胶涂敷,通过显影、曝光后获得的光刻胶图案进行定位,在第一金属层上方分别进行电镀和蒸镀工艺,获得导线层结构的第二金属层和第三金属层,其中,第二金属层具有第一开口,第三金属层覆盖于第二金属层上方。本申请通过不同工艺形成的AU层,使得在焊线过程中接触良好,降低了焊接不良率,优化光刻胶形貌和蒸镀工艺,显著提高了金属化层的形成质量,提高了光刻胶的剥离效果。
本发明授权一种激光器导电层结构及其制备方法和激光器在权利要求书中公布了:1.一种激光器导电层结构制备方法,其特征在于,所述方法包括: 在第一金属层的表面形成第二光刻胶图案,所述第二光刻胶图案在垂直于所述第一金属层表面方向的截面为正梯形; 基于所述第二光刻胶图案,在所述第一金属层上方光刻形成第二金属层后剥离所述第二光刻胶图案,所述第二金属层具有第一开口,所述第一开口垂直于所述第一金属层方向的截面为正梯形; 在所述第一开口内形成第一光刻胶图案,所述第一光刻胶图案垂直于所述第一金属层方向的截面为倒梯形,基于所述第一光刻胶图案在所述第二金属层上光刻形成第三金属层,所述第一光刻胶图案的侧壁与所述第二金属层、所述第三金属层均存在非接触式缝隙,所述第二金属层靠近所述第一开口的一端与所述第三金属层靠近所述第一开口的一端平齐; 剥离所述第一光刻胶图案。
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