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龙图腾网获悉深圳优普莱等离子体技术有限公司;广东优普莱金刚石技术有限公司申请的专利一种MPCVD设备的阻抗匹配方法、系统、终端及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120825142B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511345040.4，技术领域涉及：H03H7/38；该发明授权一种MPCVD设备的阻抗匹配方法、系统、终端及介质是由顾亚骏;全峰设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MPCVD设备的阻抗匹配方法、系统、终端及介质在说明书摘要公布了：本申请涉及微波阻抗匹配技术领域，公开了一种MPCVD设备的阻抗匹配方法、系统、终端及介质，所述MPCVD设备的阻抗匹配方法包括：获取MPCVD设备工作时的初始反射功率；若所述初始反射功率大于预设阈值，则对三销钉的位置进行多次调整，得到所述MPCVD设备的当前反射功率数据；根据所述当前反射功率数据确定目标反射功率，其中，所述目标反射功率小于所述预设阈值；根据目标反射功率将所述三销钉调整至目标位置，以完成所述MPCVD设备的阻抗匹配。本申请能够实现高精度阻抗匹配的目的。

本发明授权一种MPCVD设备的阻抗匹配方法、系统、终端及介质在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD设备的阻抗匹配方法，其特征在于，所述MPCVD设备的阻抗匹配方法包括： 获取MPCVD设备工作时的初始反射功率； 若所述初始反射功率大于预设阈值，则对三销钉的位置进行多次调整，得到所述MPCVD设备的当前反射功率数据； 根据所述当前反射功率数据确定目标反射功率，其中，所述目标反射功率小于所述预设阈值； 根据目标反射功率将所述三销钉调整至目标位置，以完成所述MPCVD设备的阻抗匹配； 所述当前反射功率数据包括第一反射功率、第二反射功率和第三反射功率； 所述对三销钉的位置进行多次调整，得到所述MPCVD设备的当前反射功率数据，具体包括： 对三销钉的位置进行第一次调整，得到所述MPCVD设备的第一反射功率，其中，所述第一反射功率小于所述初始反射功率； 对三销钉的位置进行第二次调整，得到所述MPCVD设备的第二反射功率； 对三销钉的位置进行预设次数调整，得到所述MPCVD设备的至少一个第三反射功率； 所述对三销钉的位置进行第一次调整，得到所述MPCVD设备的第一反射功率，之前还包括： 获取所述MPCVD设备的历史数据； 根据所述初始反射功率和所述历史数据，确定三销钉的调整方向，以按照所述调整方向对三销钉的位置进行第一次调整； 所述对三销钉的位置进行第一次调整，得到所述MPCVD设备的第一反射功率，具体为： 沿所述调整方向控制所述三销钉按固定步长进行第一次的前中段位置调整，并沿所述调整方向控制所述三销钉按动态步长进行第一次的尾段位置调整，得到所述MPCVD设备的第一反射功率，其中，所述固定步长大于所述动态步长； 所述对三销钉的位置进行第二次调整，得到所述MPCVD设备的第二反射功率，具体为： 沿所述调整方向控制所述三销钉按固定步长进行第二次的前中段位置调整，并沿所述调整方向控制所述三销钉按动态步长进行第二次的尾段位置调整，得到所述MPCVD设备的第二反射功率； 所述对三销钉的位置进行预设次数调整，得到所述MPCVD设备的至少一个第三反射功率，具体包括： 若所述第二反射功率小于所述第一反射功率，则继续沿所述调整方向控制所述三销钉按固定步长进行第三次的前中段位置调整，并沿所述调整方向控制所述三销钉按动态步长进行第三次的尾段位置调整，得到所述MPCVD设备的第三反射功率； 若所述第二反射功率大于所述第一反射功率，则沿所述调整方向的反向控制所述三销钉按固定步长进行第三次的前中段位置调整，并沿所述调整方向的反向控制所述三销钉按动态步长进行第三次的尾段位置调整，得到所述MPCVD设备的第三反射功率。

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