上海铠铂云信息科技有限公司王善谦获国家专利权
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龙图腾网获悉上海铠铂云信息科技有限公司申请的专利一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120893609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510967862.X，技术领域涉及：G06Q10/04；该发明授权一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法是由王善谦设计研发完成，并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及缓存优化领域，公开了一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法，实现晶圆输送全流程的智能化协同优化。包括采集晶圆到达时间戳与设备状态数据，捕捉晶圆到达的长程相关性，结合物理状态标记生成增强预测模型，通过动态拓扑同调分析单元，构建加权拓扑图，并利用贝蒂数序列识别瓶颈设备，量子随机游走路径优化单元依据设备负载概率幅演化，快速生成最优路径选择指令，鲁棒优化控制单元协同调节缓存大小与机械臂运动轨迹，确保输送精度与稳定性。本发明可显著提升晶圆输送效率与产线综合效能，降低晶圆损伤风险，适用于300mm及以上晶圆的高速、高精度输送场景，为半导体制造智能化升级提供关键技术支撑。
本发明授权一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法在权利要求书中公布了：1.一种使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法，其特征在于，所述使用设备端缓存系统优化半导体晶圆输送效率的方法包括： 实时采集晶圆到达时间戳序列及设备状态数据； 将所述时间戳序列与设备状态数据，输入至设备端嵌入式处理器中运行的分数阶微分方程预测单元，基于晶圆到达的长周期相关性特性，输出未来5-10秒内的预测队列值； 将预存储在设备端存储器的设备连接拓扑图，与设备状态数据，输入至拓扑同调分析单元，通过计算设备节点间的连通性特征，输出瓶颈设备标识集； 将瓶颈设备标识集与预定义的路径权重矩阵，输入至量子随机游走路径优化单元，基于设备负载概率幅演化，输出路径选择指令； 将预测队列值、瓶颈设备标识集、路径选择指令，输入至鲁棒优化控制单元，生成缓存大小指令及机械手控制指令，将缓存大小指令发送至可调式缓存区的气动伸缩控制器，将机械手控制指令发送至晶圆搬运机械臂的伺服驱动器。
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