航科新世纪科技发展(深圳)有限公司赵广宏获国家专利权
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龙图腾网获悉航科新世纪科技发展(深圳)有限公司申请的专利一种以光刻-电镀-组装工艺制备微结构的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120903435B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511415743.X，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种以光刻-电镀-组装工艺制备微结构的方法是由赵广宏;许戎戎设计研发完成，并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种以光刻-电镀-组装工艺制备微结构的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种以光刻‑电镀‑组装工艺制备微结构的方法，为实现多种材料的异质加工提供新的制造方法。该方法，包括：根据工艺的材料选择及层高加工规则设计微结构；基于所设计的微结构通过光刻‑电镀工艺形成微结构的主体部分；其中，在形成微结构的主体部分的过程中还包括形成组装结构的预留位置，并将组装结构植入所述预留位置；所述组装结构的厚度为90‑100μm；所述组装结构的横截面积为0.04mm22‑400mm22。
本发明授权一种以光刻-电镀-组装工艺制备微结构的方法在权利要求书中公布了：1.一种以光刻-电镀-组装工艺制备微结构的方法，其特征在于，包括： 根据工艺的材料选择及层高加工规则设计微结构； 基于所设计的微结构通过光刻-电镀工艺形成微结构的主体部分；其中，在形成微结构的主体部分的过程中还包括形成组装结构的预留位置，并将组装结构植入所述预留位置；所述组装结构为异质结构；所述组装结构包括金属、陶瓷和聚合物中的至少一种； 其中，所述将组装结构植入所述预留位置，包括： 采用自动识别点胶机，自动识别所述组装结构的预留位置，并移动点胶枪的胶嘴至所述组装结构的预留位置的中心处，进行点胶； 采用自动识别粘片机，对准组装结构的中心位置，通过自动吸嘴吸起所述组装结构，然后移动并对准晶圆上的所述组装结构的预留位置的中心，通过粘片机控制预留位置或吸嘴在垂直于水平方向上运动，使得组装结构放置于点胶后的所述组装结构的预留位置内并接触粘片胶，吸嘴停止吸片，组装结构被植入所述组装结构的预留位置。
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