江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种气体解离腔体放电结构及点火控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120957302B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511467774.X，技术领域涉及：H05H1/52；该发明授权一种气体解离腔体放电结构及点火控制方法是由潘小刚;顾小军;潜世军;程康设计研发完成，并于2025-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气体解离腔体放电结构及点火控制方法在说明书摘要公布了：本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种气体解离腔体放电结构及点火控制方法。放电结构包括：腔体，用于解离制程气体；金属网，间隔设置且嵌于腔体内，金属网之间通过导电件连通；壳体，套设于腔体的外侧；端口，设置于腔体的两端；挡板，设置于端口和壳体之间；密封圈A，设置于挡板、端口和腔体之间；电极导线，穿过壳体、腔体和金属网导通，用以高压点火。本发明通过设置多层金属网可以拓宽pd的取值范围，点火时沿趋近最低击穿电压所对应的电极距离d的金属网放电，从而降低远程等离子体源点火时的击穿电压，提高远程等离子体源的点火成功率。
本发明授权一种气体解离腔体放电结构及点火控制方法在权利要求书中公布了：1.一种气体解离腔体放电结构，其特征在于，包括： 腔体，用于解离制程气体； 多层金属网，同心间隔设置且嵌于所述腔体内；所述金属网之间通过导电件连通，金属网的直径和长度由最内层到最外层逐渐递增； 壳体，套设于所述腔体的外侧； 端口，设置于所述腔体的两端，分别用于所述腔体的进、出气，所述端口接地； 挡板，设置于所述端口和所述壳体之间； 密封圈A，设置于所述挡板、所述端口和所述腔体之间； 电极导线，穿过所述壳体、所述腔体和所述金属网导通，用以高压点火。
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