南京亿升流体设备有限公司刘雨婷获国家专利权
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龙图腾网获悉南京亿升流体设备有限公司申请的专利基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120971671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511492232.8,技术领域涉及:G01N33/00;该发明授权基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法及系统是由刘雨婷设计研发完成,并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法及系统,涉及碳化硅素坯缺陷检测技术领域,该方法包括:进行待烧结碳化硅素坯的断层扫描,得到素坯三维密度分布图;进行表面形貌测量,得到素坯高精度三维几何模型;进行几何失真修正,得到素坯融合缺陷空间模型;执行细粒度缺陷检测,得到多个缺陷空间分布特征;输出多个单维压制修正参数;进行空间多变量耦合处理,输出全局压制耦合参数;进行待烧结碳化硅素坯的批量压制。本发明解决了现有技术存在碳化硅素坯缺陷检测精度低,压制参数优化缺乏针对性以及批量压制素坯质量波动大的技术问题,达到了实现碳化硅素坯缺陷在线检测及压制参数优化,提高了压制质量与一致性的技术效果。
本发明授权基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于碳化硅素坯缺陷在线检测的压制参数优化方法,其特征在于,所述方法包括: 通过工业CT设备进行待烧结碳化硅素坯的断层扫描,得到素坯三维密度分布图; 通过3D光学扫描设备对所述待烧结碳化硅素坯进行表面形貌测量,得到素坯高精度三维几何模型; 通过在空间对齐融合所述素坯三维密度分布图和素坯高精度三维几何模型后,进行几何失真修正,得到素坯融合缺陷空间模型; 对所述素坯融合缺陷空间模型执行细粒度缺陷检测,得到对应于多种缺陷类型的多个缺陷空间分布特征; 依据所述多个缺陷空间分布特征进行压制关联缺陷反演,输出多个单维压制修正参数; 基于素坯空间属性进行所述多个单维压制修正参数的空间多变量耦合处理,输出全局压制耦合参数; 采用所述全局压制耦合参数进行所述待烧结碳化硅素坯的批量压制; 对所述素坯融合缺陷空间模型执行细粒度缺陷检测,得到对应于多种缺陷类型的多个缺陷空间分布特征,所述方法包括: 依据所述多种缺陷类型的多个缺陷尺寸分布集,分析输出多尺度缺陷特性; 采用所述多尺度缺陷特性,对所述素坯融合缺陷空间模型进行多尺度空间分割,生成系列化尺度分析模型; 将所述系列化尺度分析模型输入多缺陷并联检测网络,执行缺陷并行推理检测,输出系列化尺度中间结果; 对空间对齐的所述系列化尺度中间结果进行概率融合后,基于所述素坯高精度三维几何模型进行几何失真校验,输出对应于所述多种缺陷类型的多个缺陷空间分布特征。
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