中国计量大学何亚雄获国家专利权
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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120971768B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511491991.2，技术领域涉及：G01Q60/38；该发明授权一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针是由何亚雄;杨洋;罗哉;卞点;程银宝;江文松;李亚茹;崔长彩设计研发完成，并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针在说明书摘要公布了：本发明属于硅通孔检测技术领域，具体涉及一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针。探针包括探针杆和探针头；所述探针杆的长径比为10~50:1；所述探针头包括半圆球部分和针尖，所述半圆球部分和所述针尖一体式连接，且所述针尖的尖端远离所述半圆球部分；所述半圆球部分与所述探针杆一体式连接，所述针尖的尖端与所述探针杆的轴线之间的夹角呈70°~110°；所述针尖的曲率半径为10nm~50nm，所述探针杆和所述探针头均为钨材质。本发明中的探针能够满足测量深宽比大于10:1的硅通孔关键尺寸和侧壁粗糙度的测量需求。
本发明授权一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针在权利要求书中公布了：1.一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针，其特征在于，包括探针杆1和探针头2； 所述探针杆1的长径比为10~50:1； 所述探针头2包括半圆球部分21和针尖22，所述半圆球部分21和所述针尖22一体式连接，且所述针尖22的尖端远离所述半圆球部分21； 所述半圆球部分21与所述探针杆1一体式连接，所述针尖22的尖端与所述探针杆1的轴线之间的夹角呈70°~110°； 所述针尖22的曲率半径为10nm~50nm； 所述探针杆1和所述探针头2均为钨材质； 所述探针杆1的一侧与所述半圆球部分21的圆弧部分相切；所述半圆球部分21的半径与所述探针杆1的直径比为2~3：1。
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