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龙图腾网获悉有为图像技术(苏州)有限公司申请的专利用于晶圆的抽样检测方法、装置及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120998798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511496261.1，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权用于晶圆的抽样检测方法、装置及应用是由李坤设计研发完成，并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆的抽样检测方法、装置及应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆的抽样检测方法、装置及应用，抽样检测方法包括：获取晶圆的历史缺陷数据，所述历史缺陷数据包括缺陷坐标和所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子；基于所述缺陷坐标和所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子，获取当前晶圆上每个坐标的缺陷动态权重；基于所述缺陷动态权重，将待检测晶圆上各坐标划分为至少两个检测区域以进行抽样检测，其中，所述至少两个检测区域的抽样率不同。本发明通过基于历史晶圆缺陷坐标与当前晶圆在距离和时间上的关联程度，划分检测区域并为每个检测区域配置对应的抽样率，以平衡抽样效率与抽样质量，避免晶圆上部分区域过度抽样或抽样不足。

本发明授权用于晶圆的抽样检测方法、装置及应用在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆的抽样检测方法，其特征在于，包括： 获取晶圆的历史缺陷数据，所述历史缺陷数据包括缺陷坐标和所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子； 基于所述缺陷坐标和所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子，获取当前晶圆上每个坐标的缺陷动态权重，具体包括：基于当前坐标与每个所述缺陷坐标之间的位置关系，获取当前坐标的缺陷概率，基于所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子获取当前坐标对应的缺陷影响因子，基于当前坐标的缺陷概率以及当前坐标对应的缺陷影响因子，获取当前晶圆上每个坐标的缺陷动态权重； 基于所述缺陷动态权重，将待检测晶圆上各坐标划分为至少两个检测区域以进行抽样检测，其中，所述至少两个检测区域的抽样率不同； 其中，基于所述缺陷坐标对应的缺陷等级因子获取当前坐标对应的缺陷影响因子，具体包括：基于所述缺陷坐标和当前坐标对应的晶圆片次的片次差，确定各晶圆历史片次的第一调节因子，所述第一调节因子与所述片次差的值反相关，基于各所述缺陷坐标对应的缺陷等级和对应晶圆片次的第一调节因子，确定当前坐标对应的缺陷影响因子。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人有为图像技术(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区东富路45号联创产业园6幢101、201室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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