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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所申请的专利一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120999397B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511525368.4，技术领域涉及：H01S5/026；该发明授权一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法是由冯梁森;李维;陈佳旭;李昱东;李小宽;刘雅丽;韩艳晨设计研发完成，并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法，所述结构由激光器芯片和集成光学微腔芯片异质集成，集成光学微腔芯片包括偏振分束器、两个环形滤波器、Add‑drop型微腔和两个输出端口；偏振分束器用于将激光器芯片注入的激光分为TE模和TM模，并且具有不同的功率配比，分别注入两个环形滤波器；两个环形滤波器分别设置有加热电极，用于控制所通过的波长大小，两个环形滤波器具有不同的直径用于传输不同的波长；Add‑drop型微腔用于产生光频梳，微腔上方设置有加热电极，用于控制通过微腔的谐振波长。本发明能够解决现有的光频梳调试系统庞大、调试复杂的问题，可极大地减小微腔光频梳的体积，降低功耗。

本发明授权一种片上集成光频梳产生结构以及光频梳产生方法在权利要求书中公布了：1.一种片上集成光频梳产生结构，其特征在于，由激光器芯片和集成光学微腔芯片异质集成，集成光学微腔芯片包括偏振分束器、两个环形滤波器、Add-drop型微腔和两个输出端口，激光器芯片输出的激光注入集成光学微腔芯片，集成光学微腔芯片产生微腔光频梳并从两个输出端口中的一个输出； 偏振分束器用于将注入激光分为TE模和TM模，并且具有不同的功率配比，分别注入两个环形滤波器；两个环形滤波器分别设置有加热电极，用于控制所通过的波长大小，两个环形滤波器具有不同的直径用于传输不同的波长； Add-drop型微腔用于产生光频梳，其Input和Through端分别用于传输经过两个环形滤波器的TE模和TM模，Add和Drop端用于输出光频梳，对应于集成光学微腔芯片的两个输出端口，微腔上方设置有加热电极，用于控制通过微腔的谐振波长； 所述集成光学微腔芯片通过如下步骤制备得到： 步骤S1：在硅或者SOI或者铌酸锂衬底上生长一层下包层二氧化硅； 步骤S2：在二氧化硅下包层生长氮化硅或者铌酸锂薄膜作为波导层； 步骤S3：通过光刻或者电子束曝光结合ICP刻蚀或者湿法腐蚀，实现波导层的图形转移，获得偏振分束器、两个环形滤波器和Add-drop型微腔； 步骤S4：利用ICP-CVD在做好图形的波导层上生长一层二氧化硅作为上包层； 步骤S5：在二氧化硅上包层进行光刻，利用lift-off工艺制备位于偏振分束器、两个环形滤波器和Add-drop型微腔上方的加热层； 步骤S6：在加热层上再次生长一层二氧化硅，光刻刻蚀出接触电极的位置和深度，利用lift-off工艺制备加热层的接触电极； 步骤S7：再次生长一层二氧化硅层，然后进行光刻刻蚀，获得接触电极的通孔。

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