清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018326B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511550953.X，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;赵莹;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆减薄设备和减薄方法。该晶圆减薄设备包括晶圆减薄用砂轮，该砂轮设置有采用金属复合片材的砂轮基体，金属复合片材由第一、第二金属材料层交替叠合形成，第一、第二金属材料层的层数总和为奇数，相邻的第一、第二金属材料层通过冶金结合方式进行连接；以金属复合片材中相对设置的顶底面作为砂轮基体的顶底面；第一金属材料层采用CTE不超过10ppm℃、导热系数不低于130Wm·K的合金材料或金属材料；第二金属材料层采用CTE不超过6.0ppm℃的铁镍基合金材料。该晶圆减薄设备能够提升晶圆减薄过程中砂轮基体与硅晶圆热膨胀匹配性与减薄TSV结构稳定性，实现3DIC减薄的高精度、低损伤。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄设备，其特征在于，该晶圆减薄设备包括晶圆减薄用砂轮，该晶圆减薄用砂轮安装于晶圆减薄设备的磨削轴上，所述晶圆减薄用砂轮包括砂轮基体、胶粘层和磨料层，所述磨料层通过所述胶粘层固定于所述砂轮基体上； 所述砂轮基体采用金属复合片材构成； 所述金属复合片材由第一金属材料层与第二金属材料层交替叠合形成，第一金属材料层与第二金属材料层的层数和为奇数，相邻的第一金属材料层与第二金属材料层通过冶金结合方式进行连接；其中，所述第一金属材料层采用热膨胀系数CTE不超过10ppm℃、导热系数不低于130Wm·K的合金材料或金属材料；所述第二金属材料层采用热膨胀系数CTE不超过6.0ppm℃的铁镍基合金材料； 以所述金属复合片材中相对设置的平行于第一金属材料层的顶底面作为砂轮基体的顶底面。
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