清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511550969.0，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;邢一;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆减薄设备和减薄方法，晶圆减薄设备中磨削砂轮的磨削结构包括柔性结合体和多个第一刚性微结构，多个第一刚性微结构相互间隔地三维排列于柔性结合体中并在磨削结构的进给方向上堆叠设置，多个第一刚性微结构之间的间隔空间均被柔性结合体填充。减薄方法采用晶圆减薄设备，包括：同时提升磨削砂轮的进给速度和转速。本发明在对晶圆进行磨削减薄时，能提高磨削效率，还能减少晶圆的表面损伤，降低晶圆的表面粗糙度，且晶圆的表面更平整，进而有利于满足芯粒的高精度集成需求。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄设备，其特征在于，包括磨削砂轮，所述磨削砂轮安装在所述晶圆减薄设备的磨削轴上；所述磨削砂轮包括砂轮基体以及多个磨削结构，多个所述磨削结构通过胶粘层固定于所述砂轮基体； 其中，所述磨削结构包括柔性结合体和多个第一刚性微结构，多个所述第一刚性微结构相互间隔地三维排列于所述柔性结合体中并在所述磨削结构的进给方向上堆叠设置，多个第一刚性微结构之间的间隔空间均被所述柔性结合体填充； 所述磨削结构包括沿所述进给方向层叠设置的多个复合磨削层，各所述复合磨削层均包括柔性结合层以及相互间隔地分布于所述柔性结合层中的多个所述第一刚性微结构，各所述复合磨削层的所述柔性结合层结合形成所述柔性结合体； 所述第一刚性微结构包括刚性材料制成的刚性片体。
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