清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511550983.0，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;赵莹;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本发明提供了晶圆减薄设备和减薄方法。该晶圆减薄设备包括砂轮，该砂轮安装于晶圆减薄设备的磨削轴上包括砂轮基体、胶粘层和磨料层；该胶粘层由底到顶设置热膨胀系数单调递减、纵向热导率单调递增、原料组成中陶瓷填料的表面能单调递减且刚性单调递减的两个及以上小层，底部小层用以与砂轮基体接触、顶部小层用于与磨料层接触，每一个小层均在固化前使用垂直于小层所在平面方向的磁场进行诱导取向处理；该胶粘层采用梯度CTE复合改性剂一体化设计配合垂直导热填料梯度与取向设计，实现热膨胀系数和垂直导热性由砂轮基体侧到磨料层侧的渐进过渡，并形成沿顶底方向的贯穿性垂直导热链为纵向高效散热开辟直达路径。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄设备，其特征在于，该晶圆减薄设备包括晶圆减薄用砂轮，该晶圆减薄用砂轮安装于晶圆减薄设备的磨削轴上，所述晶圆减薄用砂轮包括砂轮基体、胶粘层和磨料层，所述磨料层通过所述胶粘层固定于所述砂轮基体上； 所述胶粘层由底到顶设置两个及以上的小层；每一个小层的原料组成各自独立地包括树脂体系、陶瓷填料和垂直导热填料； 由底到顶的各小层的热膨胀系数单调递减、纵向热导率单调递增、原料组成中陶瓷填料的表面能单调递减且刚性单调递减；底部小层用以与砂轮基体接触、顶部小层用于与磨料层接触； 每一个小层均在固化前使用垂直于小层所在平面方向的磁场进行诱导取向处理。
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