清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511553147.8，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;赵莹;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本发明提供晶圆减薄设备和减薄方法，晶圆减薄方法包括：根据砂轮的钝化程度和或硅通孔区的剪切力情况确定用于减薄的磨削水的量，以减少硅通孔区的热损伤并减少用于减薄的磨削水的总体使用量；其中，通过砂轮的总磨削力的变化率来表征所述钝化程度，通过砂轮的水平方向的磨削力的变化率来表征所述硅通孔区的剪切力情况；所述磨削水包括用于冷却晶圆和用于冷却砂轮的两路独立的磨削水。本发明实施例提供的晶圆减薄设备和减薄方法，能够减少硅通孔区的热损伤，减少减薄后的晶圆表面损伤，提高减薄后的晶圆表面质量，提高晶圆良品率，并减少用于减薄的磨削水的总体使用量，降低设备运行成本。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄方法，其特征在于，包括： 根据砂轮的钝化程度和或硅通孔区的剪切力情况确定用于减薄的磨削水的量，以减少硅通孔区的热损伤并减少用于减薄的磨削水的总体使用量；其中，通过砂轮的总磨削力的变化率来表征所述钝化程度，通过砂轮的水平方向的磨削力的变化率来表征所述硅通孔区的剪切力情况； 所述磨削水包括用于冷却晶圆和用于冷却砂轮的两路独立的磨削水； 其中，若所述砂轮的总磨削力的变化率大于第一阈值，则确定所述砂轮发生钝化；若所述砂轮的水平方向的磨削力的变化率大于第二阈值，则确定所述硅通孔区的剪切力导致硅通孔区发生热损伤，并通过第一水量模式增加用于冷却晶圆和用于冷却砂轮的两路独立的磨削水的使用量，以增强冷却；在所述第一水量模式下，用于冷却砂轮的磨削水的使用量的提升幅度小于用于冷却晶圆的磨削水的使用量的提升幅度，以防止磨削水的水流波动诱发砂轮振动。
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