河北思瑞恩新材料科技有限公司徐月获国家专利权
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龙图腾网获悉河北思瑞恩新材料科技有限公司申请的专利一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121022269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511565076.3，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物及其制备方法和应用是由徐月;陈佳乐设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物及其制备方法和应用，属于半导体加工技术领域。本发明通过复合磨料体系如不同粒径协同复配优化体系“填充性”以提升抛光效率材料去除率可提高20%～30%，同时将表面粗糙度控制在亚纳米级0.2nm。并采用无金属离子的有机碱作为pH调节剂，优选无金属离子的氧化剂和络合剂，从源头上减少钾K++、钠Na++等金属离子对铌酸锂晶格的嵌入污染，显著提升器件性能与良率。本发明提供的铌酸锂衬底超精密抛光组合物能够有效避免金属离子污染和有机残留，同时实现高抛光速率、超低表面粗糙度和优异的表面完整性，并兼具成本低廉、工艺稳定性好与环保的优点。
本发明授权一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种铌酸锂衬底超精密抛光组合物，其特征在于，以无金属离子的有机碱为pH调节剂调节基础体系的pH值至8.0～11.0；按照质量百分比计，所述基础体系除水外，组分还包括：磨料6%～20%、分散剂0.05%～0.2%、无金属离子的氧化剂0.5%～2%和无金属离子的络合剂0.5%～2%；所述磨料为二氧化硅，所述二氧化硅的粒径为两种或三种，粒径范围为20～100nm，大粒径二氧化硅与小粒径二氧化硅的质量比为1:5～2:1，50nm≤大粒径二氧化硅的粒径≤100nm，20nm≤小粒径二氧化硅的粒径＜50nm； 所述无金属离子的有机碱为季铵碱； 所述分散剂为聚丙烯酸钠和或聚甲基丙烯酸钠。
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