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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利晶圆形貌检测数据的补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121025985B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511576838.X，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权晶圆形貌检测数据的补偿方法是由王悦;朱亮;王佳锋;王淼操;金子乾设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆形貌检测数据的补偿方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆形貌检测数据的补偿方法，涉及晶圆形貌检测领域。该方法包括：针对每条扫描轨迹，基于晶向夹角确定该晶向夹角下的重力补偿值，通过重力补偿值对扫描轨迹的原始测量数据sx进行重力补偿，得到扫描轨迹的重力补偿后的第一补偿数据；确定每条扫描轨迹的倾斜补偿值；针对每条扫描轨迹，通过倾斜补偿值对扫描轨迹的第一补偿数据进行倾斜补偿，得到扫描轨迹的倾斜补偿后的第二补偿数据，利用扫描轨迹的第二补偿数据确定该条扫描轨迹的翘曲度，基于多条扫描轨迹的翘曲度确定待测晶圆的翘曲度；该方法得到的能够精确高效的实现晶圆表面形貌的检测。

本发明授权晶圆形貌检测数据的补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆形貌检测数据的补偿方法，其特征在于，所述方法包括： 获取待测晶圆多条扫描轨迹的原始测量数据sx；其中，x为沿所述扫描轨迹的位置坐标，所述原始测量数据sx为所述扫描轨迹上各个所述位置坐标处所述待测晶圆表面到参考平面的高度值； 针对每条所述扫描轨迹，获取所述扫描轨迹与所述待测晶圆的晶向夹角，基于所述晶向夹角确定该晶向夹角下的重力补偿值；针对每条所述扫描轨迹，通过所述重力补偿值对所述扫描轨迹的原始测量数据sx进行重力补偿，得到所述扫描轨迹的重力补偿后的第一补偿数据； 利用多条所述扫描轨迹的第一补偿数据，确定每条所述扫描轨迹的倾斜补偿值；针对每条所述扫描轨迹，通过所述倾斜补偿值对所述扫描轨迹的第一补偿数据进行倾斜补偿，得到所述扫描轨迹的倾斜补偿后的第二补偿数据； 针对每条所述扫描轨迹，利用所述扫描轨迹的第二补偿数据确定该条扫描轨迹的翘曲度，基于多条所述扫描轨迹的翘曲度确定所述待测晶圆的翘曲度；其中，所述翘曲度为所述待测晶圆的最大高度值与最小高度值的差值； 基于所述晶向夹角确定该晶向夹角下的重力补偿值，包括:基于所述晶向夹角确定第一相邻角度和第二相邻角度，并计算所述第一相邻角下的第一重力补偿值，以及所述第二相邻角度下的第二重力补偿值；其中，所述第一相邻角度和所述第二相邻角度中一个相邻角度大于所述夹角、另一个相邻角度小于所述夹角；确定所述第一相邻角度对应的第一差值系数，以及所述第二相邻角度所对应的第二差值系数；基于所述第一重力补偿值和所述第一差值系数、所述第二重力补偿值和所述第二差值系数以及所述待测晶圆的实测厚度值，确定所述重力补偿值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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