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龙图腾网获悉深圳市曼恩斯特科技股份有限公司申请的专利晶圆缺陷检测方法、系统及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121033033B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511554828.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆缺陷检测方法、系统及电子设备是由龙兵;颜煜圻设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆缺陷检测方法、系统及电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆缺陷检测方法、系统及电子设备，涉及机器视觉技术领域，该方法在晶圆缺陷检测过程中充分利用成像单元和载物台之间的变换关系对条带图像进行精准拼接，从而得到高精度的晶圆图像，提高了晶圆检测精度；同时可采用改进的VAE模型从亮度、对比度和结构差异上精确获取待检测晶圆的缺陷区域，能够对细微缺陷进行高精度识别，从而解决了现有技术中存在的细微缺陷检测效果差的问题。

本发明授权晶圆缺陷检测方法、系统及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括： 初始化步骤：获取待检测晶圆对应的成像单元和载物台，并基于所述待检测晶圆的图像灰度值初始化所述成像单元对应的对焦控制模块； 对焦控制步骤：控制所述载物台中所述待检测晶圆按照预设扫描指令进行运动，并通过所述对焦控制模块实时控制所述成像单元按照预设采集频率获取所述待检测晶圆对应的条带图像； 图像处理步骤：根据所述成像单元对应的相机标定参数以及所述载物台对应的基准点参数确定所述成像单元与所述载物台对应的变换关系，并基于所述变换关系对所述条带图像进行拼接后获取所述待检测晶圆对应的晶圆图像； 缺陷分析步骤：基于已完成训练的VAE模型确定所述晶圆图像对应的重构图像；根据所述重构图像对应的亮度、对比度和结构特征值获取所述重构图像与所述晶圆图像的差异区域，并通过所述差异区域确定所述待检测晶圆对应的缺陷区域； 所述初始化步骤，包括： 获取所述待检测晶圆在缺陷检测过程中对应的线阵相机、真空吸盘和三轴运动平台； 基于所述线阵相机确定所述成像单元，并基于所述真空吸盘和所述三轴运动平台确定所述载物台； 确定所述待检测晶圆在所述成像单元中对应的数字图像，获取所述数字图像对应的图像灰度值，并通过Sobel算子计算所述数字图像对应的图像梯度值； 根据所述图像灰度值和所述图像梯度值确定所述成像单元对应的聚焦评价值，并基于所述聚焦评价值初始化所述对焦控制模块； 根据所述图像灰度值和所述图像梯度值确定所述成像单元对应的聚焦评价值的步骤，包括： 利用以下算式计算所述聚焦评价值： ； ； ； 其中，和分别为通过Sobel算子卷积得到的X方向和Y方向对应的所述图像梯度值；为所述图像灰度值；和分别为所述数字图像对应的X方向和Y方向对应的坐标值；为基于所述数字图像的局部方差对应的掩码函数；为增益系数；是以点为中心的局部窗口的方差值；为所述局部窗口内的像素总数；为所述局部窗口内的像素平均灰度值；为所述局部窗口内的像素点对应的灰度值。

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