霖鼎光学(上海)有限公司任明俊获国家专利权
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龙图腾网获悉霖鼎光学(上海)有限公司申请的专利一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法、介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121067757B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511614305.6，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法、介质及设备是由任明俊;张鑫泉;张哲;宁永晨设计研发完成，并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法、介质及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及光学测量标定技术领域，特别是涉及一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法、介质及设备。方法为：将标定板置于立式菲索干涉仪测量光路作临时被测镜，在至少一个测量点位，驱动标定板绕自身旋转中心连续旋转，各测量点位旋转中心与平面参考镜中心光轴偏轴设置且距离相等，于每个测量点位采集多帧面形测量数据，对所有测量点位数据算术平均得平面参考镜绝对面形误差。该方法通过特定偏轴测量点位设置，使标定板不同点位空间方位系统性变化，抵消中心对称型误差，抑制非对称误差与随机噪声，无需复杂算法，实现高精度、高鲁棒绝对标定。与传统方法相比，兼具精度、效率与实用性，适用于多种应用场景，还为后续优化效率提供框架。
本发明授权一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法、介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于立式干涉仪的平面参考镜标定方法，其特征在于，包括以下步骤： 将一标定板置于立式菲索干涉仪的测量光路中作为临时被测镜； 在至少一个测量点位下，驱动所述标定板绕其自身旋转中心连续旋转，并在每个测量点位采集多帧面形测量数据，其中，每一测量点位的旋转中心与所述平面参考镜的中心光轴偏轴设置，所述测量点位的旋转中心位于以所述平面参考镜中心光轴为圆心、相同半径的圆周上，且各测量点位的旋转中心与所述平面参考镜的中心光轴之间的距离相等； 对所有测量点位所采集的全部面形测量数据进行算术平均，所得平均结果即为所述平面参考镜的绝对面形误差。
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