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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王玉坤获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121067758B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511634280.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取方法及系统是由王玉坤;王孝坤;聂久程;王大成;周承辰;薛栋林;张学军设计研发完成,并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于形貌检测领域,尤其涉及一种基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取方法及系统,方法包括S1:使用宽谱段扫描光源模块对被测样品进行均匀性线场照明;S2:通过离轴全息式明暗场同步接收光路同步采集被测样品的明场干涉信号与暗场干涉信号;S3:通过双通道光谱仪接收明场干涉信号与暗场干涉信号形成OCT干涉光谱信号,并对OCT干涉光谱信号进行光学相干层析成像处理,提取与被测样品高度相关的相位信息;S4:对提取的相位信息进行相位解包裹处理;S5:将解包裹后的连续相位转换为高度差信息,从而还原出被测样品表面的纳米级三维形貌。本发明能够实现毫米级视场下纳米级的三维形貌提取。

本发明授权基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于相位灵敏明暗场OCT的三维形貌提取系统,其特征在于,包括宽谱段扫描光源模块、离轴全息式明暗场同步接收光路和双通道光谱仪;其中, 宽谱段扫描光源模块用于为被测样品提供均匀的线场照明; 离轴全息式明暗场同步接收光路用于对被测样品同步采集明场干涉信号与暗场干涉信号;明暗场同步接收光路包括第一分束器、配置为共路干涉结构的明场干涉模块和配置为离轴角分集接收结构的暗场干涉模块;其中,第一分束器用于将宽谱段扫描光源模块输出的光束分为明场检测光束和暗场检测光束;明场干涉模块用于捕获明场检测光束孔径角内经被测样品表面散射的散射光,形成明场干涉信号;暗场干涉模块用于捕获暗场检测光束孔径角内经被测样品表面散射的散射光,形成暗场干涉信号; 双通道光谱仪用于接收明场干涉信号与暗场干涉信号,形成OCT干涉光谱信号;双通道光谱仪包括相位提取单元、相位解包裹单元和相位转换单元;其中,相位提取单元用于对OCT干涉光谱信号进行相位灵敏光学相干层析成像处理,提取被测样品的相位信息;相位解包裹单元用于对被测样品的相位信息进行解包裹;相位转换单元用于将解包裹后的连续相位转换为高度差信息,从而还原出被测样品表面的纳米级三维形貌。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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