清软微视(杭州)科技有限公司陈仕江获国家专利权
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龙图腾网获悉清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种通用半导体缺陷检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121074035B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511612922.2,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种通用半导体缺陷检测方法及系统是由陈仕江;周继乐;陈荣前;时彩红设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通用半导体缺陷检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种通用半导体缺陷检测方法及系统,涉及半导体技术领域,该方法包括:获取检测设备在不同检测通道采集到的通用半导体的多张缺陷图像,并对多张缺陷图像进行预处理得到目标缺陷图像;采用预训练的实例分割模型对每个检测通道采集处理后得到的目标缺陷图像进行缺陷检测,以得到每个检测通道下的通用半导体的基础缺陷特征;对每个检测通道下的通用半导体的基础缺陷特征按预设规则进行融合得到融合缺陷特征,后根据融合缺陷特征得到通用半导体的缺陷类型。本发明解决了现有技术中半导体缺陷检测准确性差的问题。
本发明授权一种通用半导体缺陷检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种通用半导体缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括: 获取检测设备在不同检测通道采集到的通用半导体的多张缺陷图像,并对多张缺陷图像进行预处理得到目标缺陷图像; 采用预训练的实例分割模型对每个检测通道采集处理后得到的目标缺陷图像进行缺陷检测,以得到每个检测通道下的通用半导体的基础缺陷特征; 对每个检测通道下的通用半导体的基础缺陷特征按预设规则进行融合得到融合缺陷特征,后根据融合缺陷特征得到通用半导体的缺陷类型; 所述对每个检测通道下的通用半导体的基础缺陷特征按预设规则进行融合得到融合缺陷特征的步骤包括: 通过坐标转换,计算不同检测通道中缺陷的位置重合度实现不同检测通道中缺陷的位置匹配; 对比缺陷的轮廓参数、颜色特征的相似度实现不同检测通道中缺陷的形貌匹配; 针对具有方向性的缺陷,对比其朝向、角度的一致性实现不同检测通道中缺陷的姿态匹配; 对匹配的不同检测通道中的缺陷,消除不同检测通道的跨通道重复标注,合并同一缺陷在不同检测通道的特征,生成统一的融合缺陷特征。
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