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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种折反射激光干涉终点检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121090052B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511630625.0，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种折反射激光干涉终点检测系统是由钟辉;张黎明设计研发完成，并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种折反射激光干涉终点检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种折反射激光干涉终点检测系统，涉及半导体技术领域，其中折反射激光干涉终点检测系统包括沿光路依次设置的第一固定透镜组、第二固定透镜组和第三固定透镜组；第一反射镜围绕第一固定透镜组并沿光路可移动的设置，第二反射镜设于第三固定透镜组与晶圆之间；第一反射镜和第二反射镜均呈弧形结构，且第二反射镜的遮拦比为0.04‑0.08；光源，包括发光件和微透镜；光源设于光路的一侧用于发射照明光线，微透镜将照明光线分割成多个子光束，多个子光束依次经过第一固定透镜组、第二固定透镜组和第三固定透镜组，并被第二反射镜和第一反射镜反射后叠加至晶圆，以将光源的污渍平铺至目标面。本发明能够实现大倍率长工作距离高清成像。

本发明授权一种折反射激光干涉终点检测系统在权利要求书中公布了：1.一种折反射激光干涉终点检测系统，其特征在于，包括： 沿光路依次设置的第一固定透镜组、第二固定透镜组和第三固定透镜组； 反射单元，包括第一反射镜和第二反射镜；所述第一反射镜围绕所述第一固定透镜组并沿光路可移动的设置，所述第二反射镜设于所述第三固定透镜组与晶圆之间；所述第一反射镜和所述第二反射镜均呈弧形结构，且所述第二反射镜的遮拦比为0.04-0.08；使系统工作距为212-417mm、数值孔径范围为0.01-0.06、放大倍率为2.9-1.62； 检测单元，设于光路的一侧，用于发射检测光线； 成像单元，设于所述第一固定透镜组远离所述晶圆的一侧，用于记录并输出晶圆的图像信息； 光源，包括发光件和微透镜；所述光源设于光路的一侧，所述发光件用于发射照明光线，所述微透镜用于将照明光线分割成多个子光束，以使所述发光件发出的照明光线被所述微透镜分割为多个子光束后依次经过所述第一固定透镜组、所述第二固定透镜组和所述第三固定透镜组，并被所述第二反射镜和所述第一反射镜反射后叠加至所述晶圆，以将所述光源的污渍平铺至目标面。

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