合肥晶合集成电路股份有限公司刘苏涛获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利半导体结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121126858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511666098.9,技术领域涉及:H10D84/01;该发明授权半导体结构及其制作方法是由刘苏涛设计研发完成,并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种半导体结构及其制作方法,属于半导体领域。半导体结构的制作方法包括:提供衬底,于衬底内形成功能层;其中,功能层包括间隔设置的第一掺杂区和第二掺杂区,及设置于第一掺杂区和第二掺杂区之间的隔离结构;分别在第一掺杂区和第二掺杂区上制作栅极结构,所述栅极结构包括栅氧化层、栅极和栅极侧墙;制作离子阻挡层,所述离子阻挡层至少露出第一掺杂区中的源极制备区域和漏极制备区域;制作缓冲层,所述缓冲层至少覆盖第一掺杂区的栅极结构,所述缓冲层为多孔结构;对缓冲层进行离子注入,将缓冲层的表层转换为加固层。通过该方法形成的缓冲层和加固层可以很好的保护栅极结构,避免栅极结构发生损坏。
本发明授权半导体结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,包括: 提供衬底,于衬底内形成功能层;其中,功能层包括间隔设置的第一掺杂区和第二掺杂区,及设置于第一掺杂区和第二掺杂区之间的隔离结构; 分别在第一掺杂区和第二掺杂区上制作栅极结构,所述栅极结构包括栅氧化层、栅极和栅极侧墙; 在第二掺杂区上制作离子阻挡层,所述离子阻挡层至少露出第一掺杂区中的源极制备区域和漏极制备区域; 制作缓冲层,所述缓冲层至少覆盖第一掺杂区的栅极结构,所述缓冲层为多孔结构; 对缓冲层进行离子注入,将缓冲层的表层转换为加固层。
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