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常州臻晶半导体有限公司王晗获国家专利权

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龙图腾网获悉常州臻晶半导体有限公司申请的专利籽晶提拉组件及其装配方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121161405B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511698967.6,技术领域涉及:C30B15/30;该发明授权籽晶提拉组件及其装配方法是由王晗;柯尊斌;陆敏设计研发完成,并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

籽晶提拉组件及其装配方法在说明书摘要公布了:本发明属于单晶生长设备技术领域,具体涉及一种籽晶夹持组件,尤其涉及一种籽晶提拉组件及其装配方法。其中,籽晶提拉组件通过所述气道、气滑环与散热气腔连通的独特设计,能够从外部气源主动地向旋转头内部通入可控的冷却气体,从而对旋转头均匀散热,从而克服了依赖热场自然温度梯度导致的散热不稳定、重复性差、径向梯度大等问题,也避免了水冷方式控制精度不足、易局部过冷的缺陷。同时,通过限位环与第一石墨碳纸的配合,在螺纹连接处形成了一个可靠的密封结构,避免气流从螺纹连接处溢出,从而减少气流的无序窜动,从而提高了风冷散热的均匀性,提高了温度梯度控制的精度。

本发明授权籽晶提拉组件及其装配方法在权利要求书中公布了:1.一种籽晶提拉组件,其特征在于,包括: 提拉杆100; 旋转头200,其设置在所述提拉杆100的下方,且,所述旋转头200的底部用于放置籽晶以用于晶体生长; 所述提拉杆100内设置有气道110,所述旋转头200内设置有散热气腔210; 所述气道110与所述散热气腔210连通; 所述提拉杆100的上部设置有与外部气源连通的气滑环140,所述气滑环140与所述气道110连通,且用于给所述散热气腔210通入气体,以对旋转头200进行散热; 其中,所述提拉杆100的下部沿轴向朝外延伸出限位环120; 所述旋转头200的顶部开设有螺纹孔220; 所述提拉杆100的端部套设有第一石墨碳纸130; 在所述提拉杆100的下端部与所述螺纹孔220螺纹连接时,所述限位环120将所述第一石墨碳纸130紧贴所述旋转头200的顶部,以将所述提拉杆100与所述旋转头的螺纹连接处进行密封,从而提高了气体对旋转头200散热时的均匀性。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州臻晶半导体有限公司,其通讯地址为:213000 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区武宜南路377号19号厂房一层东;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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